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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

测试时，探针压在PCB表面的待测点，然后通电测试每个网点的通断，并报告存在的短路和断路缺陷。其局限在于只能检测短路和断路两种缺陷，缺口、 和残留铜等其它缺陷都无法检测。针床夹具的成本过高，小批量生产不合适；但是随着电子向更高密度、更小尺寸、更复杂的PCB混合技术的纵深发展，仅依靠人眼检测或电测试印制电路板的质量无法满足品质要求。为提高产品质量，减少进入下步工序的有缺陷电路板的数量，对PCB检测中的关键设备----自动光学检测(AOI)系统的需求也越来越大。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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LPWAN行业应用而目前LPWAN主要可分为两类：一类是工作于未授权频谱的LoRa技术；另一类是工作于授权频谱下的NB-IoT。频段授权分布LoRa模块是指基于Semtech公司SX127X系列芯片研发的一款工业级射频无线产品，相比传统的窄带调制技术，LoRa模块采用了扩频调制技术在同频干扰的性能方 有明显优势，解决了传统设计方案无法同时兼顾距离、抗扰和功耗的弊端。NB-IoT指窄带物联网(NarrowBand-InternetofThings)技术，是工作在授权频段的技术，核心是面向低端物联网终端(低耗流)，适合广泛部署在智能家居、智能城市、智能生产等领域，对长距离、低速率、低功耗、多终端的物联网应用具有较大优势。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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电磁流量计按其出现故障时间的不同可划分为调试期和运行期出现的故障。以下即为常出现的有关电磁流量计的故障现象。调试期故障一般出现在仪表初次调试期间，一旦仪表后，电磁流量计故障即可排除。引起电磁流量计调试期常见故障有不当、外界环境的干扰、流体特性。流体管道系统和仪表等方面此类故障一般是由传感器位置不当引发，将传感器在容易积聚气体的工业管网高点，液体经流量传感器直接排入大气，形成测量管内出现非满管现象，传感器装在流体自上向下流的垂直管道上，容易形成排空现象。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室郴州-CNAS检测公司可在各种恶劣天气下使用。坚固耐用、全天 ×48热分辨率；选择的分辨率越高，图像细节和距离性能更优。mm到1mm的可更换镜头。红外夜视仪让您能够在漆黑的环境下看清物体。高达2倍，4倍的电子变焦让您能够获得更多细节信息。捕获静态图像和。电子变焦4倍电子变焦产品图例可切换镜头应用领域人员和搜救组织难以组织难以在漆黑环境中或恶劣天气下寻找失踪人员。