测试设备校正泰州-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

仪器结构的不同气体检测仪结构较简单，只包括探头(传感器)及传感器信号转换电路部分。而气体分析仪不仅在内部装有探头(传感器)而且还有一整套气路系统，即将样气引入到仪器内部，并且再引出仪器放空或的气路系统。气体分析仪检测方式不同气体检测报仪利用探头直接暴露在被测的空气中或样气环境中进行检测。而气体分析仪是将被测气体(样气)通过特殊方式引入到仪器内部进行测定，然后再引出仪器外放空。气体检测仪对测定条件的控制方式不同气体检测报仪不设有样气工艺技术条件的调整及控制部分，同时也完全不考虑样气存在的环境条件，直接进行检测。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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“参数测量”是示波器分析波形的一大利器，工程师不用启光标就可以轻松得到各项参数。但也有工程师会有点不放心：示波器如何保证测量精度呢?本文就带你步步深入，了解示波器参数测量背后的算法。ZDS系列示波器了非常丰富的测量功能，测量项目 多可达51种。工程师在使用时遇到的问题多是因为对细节及原理了解不够，下面就这些内容，带你一步一步深入挖掘，解你的疑惑。参数测量的使用方法打测量比较简单，记住两个要点：我要测量哪个通道?我要测什么?打测量小结：测量项目有51项之多，支持24项测量项目同屏幕显示。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在25℃（Tc）时有公式：恒成立。把线性降额因子设为F，则在任意温度时有：代入已知参数得到F＞5mW/℃，一般为了满足裕量要求，降额因子往往取得更大才能满足可靠性设计要求。由于小晶体管和芯片是不带散热器的，这时就要考虑壳体到空气之间的热阻。一般数据手册会给出Rja（结到环境 25W是在其壳温25℃时取得的。倘若环境温度刚好为25℃，芯片自身又要消耗0.625W的功率，那么为了满足结点不超过150℃，的法就是让其得到足够好的散热。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正泰州-审厂不同波特率的波形，数据位宽不一致，时间T=1/采样率，实际采样率大的波形对应的时间就小，所以从中可看出波特率为10126bps的波形像往左偏移了。当解码时设置的波特率同为9600时，采样点的位置是根据9600的波特率来确定的，当实际采样率和9600bps有偏差时，误差会逐渐累积，从而导致解码有偏差。设置的数据位宽越大，越容易叠加误差。自检波特率方法从波形出发，根据波形位宽估算波特率，此法适用于波特率偏差较大或不确定波特率该设置多少时。