计量器具校正咸阳-CNAS检测公司

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计量器具校正咸阳-CNAS检测公司计量器具校正校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

直流电机主要有直流有刷电机和无刷直流电机两种。有刷直流电机直流电机以良好的启动性能、调速性能等优点著称，其中属于直流电机一类的有刷直流电机采用机械换向器，使得驱动方法简单。电机主要由永磁材料的定子、绕有线圈绕组的转子（电枢）、换向器和电刷等构成。只要在电刷的A和B两端通入一定的直流电流，电机的换向器就会自动改变电机转子的磁场方向，这样，直流电机的转子就会持续运转下去。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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擅长“小型化”的日本厂家过去，电子产品的进步主要是以半导体为中心的“小型化”的发展（也就是所谓的“摩尔定律”），同时附加很多功能。如今，电子产品的进步主要是体现在当今发展到顶点的智能手机、以智能手表（SmartWatch）为代表的可穿戴设备（WearableDevice）。这些产品都是通过电池驱动且具有较高的计算（Computing）功能，另外也具备摄像、运动（Motion）、气压、温度等多个传感器。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内， 内，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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二维傅里叶变换Lamb波在时间和空间上都可以通过二维傅里叶变换转换为二维各个离散频率点的频率G波数能量谱,从而出单个Lamb波,并可对其幅值进行测量。单个波动组分在时间上的频度称为频率,而在空间(距离)上的频度称为波数.由频率波数谱中某个波动组分的频率和波数,可以确定周期和波长。通过对接收信号的二维傅里叶变换,与理论计算得到的波数G频率的频散曲线进行对比,从而确定检测信号中包含的Lamb波模态。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的我们熟悉的音频功率放大器，它将微弱的音频信号（2Hz~2kHz）进行功率放大后驱动大功率扬声器发声。宽带功率放大器相对于音频功放而言，具有更宽的工作频率，UT-M14是优利德公司发的一款宽带功率放大器，它的全功率带宽高达2MHz，输出功率1W，输出摆率SlewRate大于16V/μs，可适用于更多应用场景如：评估数字钳形表或数字万用表的性能。普通的数字钳形表或数字万用表一般都支持对交流电流的测量，但频率响应通常都在4Hz及以下，一些特殊的数字钳形表或数字万用表支持对1kHz范围内1A及以上的电流信号测量。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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洁净室（或称：无尘室、无尘车间、净化车间）是指一个具有低污染水平的环境，透过将密闭空间内空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。空气中的污染物包括灰尘，微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的产业，半导体生产、生化技术、精密机械、制、、无菌食品业等，其中以半导体业对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格，必须控制在某一个需求范围内才不会对制程产生影响。