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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

直通方式选取：直通方式包括：零长度直通、定义直通、未知直通、定义直通（ECal）、未知直通（ECal）。前三种针对机械校准件，后两者是电子校准件。定义直通，选用已知特性机械转接器，或选用电子校准件内部直通状态。未知直通，选用未知特性转接器，或选用电子校准件内部直通状态作为未知特性状态使用。用户可以根据实际情况选取合适的直通方式,未知直通使用更加灵活，是非插入校准缺省直通方式。总结电子与机械混合校准模式，可平衡校准速度，连接复杂度与校准精度等多种因素。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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特性：-适配器用于高速USB2.(兼容USB1.1和USB3.)-符合CAN规范2.A/B和FD1.-CANFD比特率用于数据域(64位)从4kbit/s至12Mbit/s-CAN比特率从4kbit/s至1Mbit/s-时间戳分辨率1μs-CAN总线连接经由D-Sub,9-pin(符合CiA12)-CANFD控制器的FPGA实施-NXPTJA144GTCAN收发器-电气隔离5V-CAN端子可通过焊接跳线-总线负载测量包括错误帧和过载帧-诱发错误发生功能用于进入和外出CAN报文-5-V供电CAN连接可通过焊接跳线连接，外部总线转换器。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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当然，FLIR并非努力使红外热成像传感器符合车规标准的厂商。“我们使红外热成像传感器拥有汽车应用所需要的坚固性和耐久性；降低它们的功耗使之能够应用于智能手机；提高它们的抗震校准性能，使之能够用于械瞄准镜；提高耐热性能，使它们能够应对燃烧等高温环境，”位于圣巴巴拉的FLIR竞争对手SeekThermal企业战略负责人TimLeBeau介绍说。面对颠簸恶劣的户外行车环境，把红外热像仪进车辆，并不困难。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室南平-报价多少所述环形体积管包括气动球阀、气动三通球阀、气动四通球阀、收发球筒、快盲板、性球置换器、标准管段和检测关，所述气动四通球阀的两个进出水口，分别连接所述两个收发球筒，所述气动四通球阀另两个进出水口分别与气动球阀相连，所述检测关固定在所述标准管段上，所述性球置换器放入所述收发球筒内，所述收发球筒与所述标准管段相连。所述超声波水表检测台包括气动球阀、气缸组、水表夹具、超声波水表和导轨，所述气动球阀与所述气缸组相连，所述气动球阀与所述环形体积管相连，所述气缸用于推动所述水表夹具，所述水表夹具在所述导轨上，所述超声波水表放在所述水表夹具上，所述水表夹具另一端通过所述气动球阀连接至所述多档位定点流量调节装置。