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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

光纤的主要材料是石英玻璃，与金属传感器相比具有更大的耐久性，而且光纤本身也具有结构简单、体积小、质量轻、耗能少等优势；抗干扰：光纤是非金属、绝缘材料，避免了电磁、雷电等干扰，况且电磁干扰噪声的频率与光频相比很低，对光波无干扰。此外，光波易于屏蔽，外界光的干扰也很难进入光纤。分布式光纤应变传感技术根据探测光输出方式、信号光检测方法以及探测原理的不同分门别类形成了各种基于分布式光纤传感的应变探测技术，在应变测量精度、测量距离、空间分辨率以及数据刷新速度等方面各具优势。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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，如测时钟振荡器是否起振，振荡频率是否是40kHz。若振荡器无输出，说明TSC7106内部反相器损坏，也可能是外部元件路。观测TSC7106第{21}脚的波形应为50Hz方波，否则，可能是内部200分频器的损坏。测量元件参数对故障范围内的元件，进行在线测量或离线测量，应分析参数值。对于电阻在线测量时，应考虑与其并联的元件的影响。隐性故障排除隐性故障是指故障时隐时现，仪表时好时坏的故障。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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无论是在机械、设备，还是在汽车电子、通信技术产业中，我们都可以看见传感器在其中发挥重要作用。随着传感器的发展，很多行业也在积极发利用传感器，很多新型的传感器都在广泛地被放利用。地铁成为人类利用地下空间的一种有效形式，充分缓解了城市的地面交通，以其运量大、准时性好、快速安全、交通效率高、利于环保等优点，成为现代城市地下空间建设的重点。但地铁在运营过程中，环境控制(简称环控)系统的用电量占了相当的比重，特别是带有空调的环控系统的用电量约占整个地铁耗电量的4%左右。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正茂名-外校单位土壤修复是使遭受污染的土壤恢复正常功能的技术措施。在土壤修复行业，已有的土壤修复技术达到1多种，常用技术也有1多种，大致可分为物理、化学和生物三种方法。世纪8年代以来，世界上许多 特别是发达 均制定并展了污染土壤治理与修复计划，因此也形成了一个新兴的土壤修复行业。名词解释土壤作为陆地生态系统重要组成部分，是人类和动物居住不可替代的环境因子，也是食物安全与人体健康的基本保障，在保护环境和维持生态平衡中具有重要作用。