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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

即使是今天日本的产品依旧具有“轻薄短小”的特点，很多产品依旧很。一些粗糙、不精致的产品也随处可见。是产的手机，可以实际用作通过通话和通信，其大小约是3个100的日元，几乎小到难以使用。就这在样小巧的产品中却了用于通信的芯片、虽简易却具备可以进行简单的运行程序的器，虽然不能用于主要用途（MainUse），但是可以用于紧急情况（Emergency）下使用。正在竭尽全力发“轻薄短小”的产品像以上这样的智能手机正诞生在。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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由于在交变电压下主要按电容分压，故能够有效地暴露设备绝缘缺陷。它主要达到如下目的：检测绝缘耐压受工作电压或过电压的能力；检查电气设备绝缘或检修质量；排除因原材料、或运输对绝缘的损伤，降低产品早期失效率；检验绝缘的电气间隙和爬电距离。绝缘电阻测量绝缘电阻是电气设备和电气线路 基本的绝缘指标。绝缘电阻是指用绝缘材料隔的两部分导体之间的电阻称绝缘电阻为了保证电气设备运行的安全，应对其不同极性(不同相)的导电体之间，或导电体与外壳之间的绝缘电阻提出一个要求。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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找来三把电流钳和三个电压探头，钳子和探头找到对应位置随便接上，只需确保测试点间不短路，上电后发现接错接反了调换过来就行了，不需要费心管什么火线零线、正极负极或共地什么的。用示波器还得小心翼翼，ZDL6000的通道隔离就是可以这么任性。测试UPS响应时间的测试，主要是在机状态下，输入（电网）和输出（负载）端的切入和切出。由于ZDL6000具备硬盘容量级别的记录空间，测试时无需每项内容都重复设置触发、启动捕获和命名保存捕捉的数据。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校验重庆-认证中心在工企业中应用的称重仪表性能指标通常用准确度(又称精度)、变差、敏锐度来形貌。仪表工校验仪表通常也是调校准确度，变差和敏锐度三项。变差是指称重仪表被测变量(可明白为输入信号)屡次从差别倾向抵达同一数值时，仪表指示值之间的差值，大约说是仪表在外界条件稳定的环境下，被测参数由小到大革新(正向特性)和被测参数由大到小革新(反向特性)不划一的水平，两者之差即为仪表变差。牢靠性称重控制仪表牢靠性是化工企业仪表工所寻求的另一慌张性能指标。