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仪器外校乐山-审厂 仪器外校校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

MEMS麦克风结构和封装示意图这些优势使MEMS麦克风成为设计的理想选择。当然，若想设计的声级计，MEMS麦克风还需弥补一些缺陷。由于MEMS麦克风是在器件级数字信号，因此无法从电路中单独移出压力敏感腔，并单独测试模拟链路。而声级计的所有相关标准都编写于2世纪7年代，并设声级计设计包括一个单独的麦克风振腔，驱动一个模拟链或者一个模数转换器（ADC），然后是一个数字链。这就要求使用号代替麦克风来测试声级计。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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在实际应用中测量的电阻电压越低，热电效应就越显著。所以这个电压的影响取决于具体的应用。用户的硬件系统很少有能力能消除热电动势电压，因为在用继电器系统模拟电阻时就应该考虑到这一点。基于继电器的高精度程控电阻模块具有热 具有第二低的热电动势，因为它使用的设计方法可以尽量的减少热电效应，但是有更多的继电器串联。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内，其 ，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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示波器可通过各种各样的视图模式来观察波形，有YT、XY两大类别，YT模式又可以进一步细分为普通、大时基、滚动等模式，观察信号时，应选择哪一种模式才 合适，不同的模式之间又有什么关联。本文带您详细深入探讨，各个模式显示的方式，优点与缺点，帮您快速准确地找到合适的模式来观察信号。YT模式YT模式是示波器中 常见的，其坐标系Y轴为通道输入信号，上正下负，参考地为零点，X轴为时间，左负右正，触发点为零点。YT模式还可进一步细分为普通、大时基、滚动、Zoom、插值模式，下面一一详细介绍。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的红外测温仪由于其测温精度高，被广泛应用于耐火材料厂，其中关键的隧道窑里，里面测温点比较多。红外测温仪具有测温点多，连续工作时间长的特点，如温度参数控制不好，将会给生产企业带来重大的经济损失，选择合适的测温手段是保证窑炉正常工作的一个重要环节。隧道窑传统的测温方法有两种：一种是用热电偶测温，这种方法的特点是测温精度高，能连接 或控制系统进行闭环控制，其缺点是寿命短，特别是在1300℃以上的高温窑上其电耦消耗特大，价格也很贵，设备运行成本较高；第二种方法是光学高温计，该方法是根据被测物体发光的颜色来测量温度，因其不直接接触高温区，故使用寿命长，但测量精度较低，无号输出，不能自动记录，还有人为因素的影响，真实性差。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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对于一户60平米的住户，流量一般为120升每小时到180升每小时。这样的流量大于流量，所以分表工作在合理区间内。一栋15层的楼房，采用 户都实施热计量，则一般流量为14.4m3/h到21.6m3/h。在这种情况下，总表工作在合理区间。但在室外温度较高的情况下，如果有部分用户主动关小供暖阀门；或在采光较好的房间，关小阀门的情况下，总的流量下降了，就有可能小于总表的流量，总表的计量误差变大了。