测试仪器校验柳州-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

什么是红外热成像测温？红橙黄绿青蓝紫，是大家所熟知的大自然的可见光。在可见光之外，有一种人类看不见的“光线”，叫“红外线”。只要高于零度（-273℃）的物体，都会向外辐射红外线，因此自然界中的万物，无时无刻地都在向外辐射这种不可见的红外线，人类当然也不例外。红外线本身的物理特性就具有很强的热效应，太阳的热量主要就是通过红外线传到地球的。因此物体发射的红外线，通过红外探测器先进的光电转换效应，再通过科学的算法、的程序，其中所包含的热信息就能转化成物体表面的温度信息，这就是红外测温的基本原理。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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目标信号变得相干或相关，但不会恢复失真项。在测试中实现的修改方法是将每个本振(LO)频率器设置为不同的频率，然后在数字过程中以数字方式调谐数控振荡器(NCO)，以校正修改。所示为ADI公司收发器ADRV9009的功能框图。每个波形发生器或接收器都是用直接变频架构实现的。DanielRabinkin的文章《前端非线性失真与阵列波形》详细地讨论了各种直接变频架构。4LO频率可以独立编程到各IC上。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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如果放电速度过慢，就会出现通信问题。解决方法：增加终端电阻。CAN收发器结构示意图2.组网节点数少，通信正常，增加节点后，通信异常。可能原因：总线电容过大。总线电容过大会影响CAN差分波形上升下降速度，如。解决方法：a.检查CAN节点接口的外围电路，是否有外加电容、TVS管等器件，适当去除，以降低电容；降低工作波特率。波特率降低可以延长位时间，减小电容的影响，但若电容过大，则不一定有效。总线电容影响波形图3.应用中易损坏，更换模块后正常。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器校验柳州-计量公司了解ADC在系统中的误差意味着，设计人员必须了解要采样的信号的类型。信号类型取决于如何定义转换器误差对整个系统的贡献。这些转换器误差一般以两种方式定义：无噪声代码分辨率（表示直流类信号）和“信噪比等式”（表示交流类信号）。由于电阻噪声和“kT/C”噪声，所有有源器件（如ADC内部电路）都会产生一定量的均方根(RMS)噪声。即使是直流输入信号，此噪声也存在，它是转换器传递函数中代码跃迁噪声存在的原因。