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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

RDMA（远程直接数据存取），以其对业务带来的高性能、低延时优势，在数据中心尤其是AHP大数据等场景得到了广泛应用。为保障RDMA的稳定运行，基础网络需要端到端无损零丢包及超低延时的能力，这也催生了PFECN等网络流控技术在RDMA网络中的部署。在RDMA网络中，如何合理设置MMU（缓存管理单元）水线是保证RDMA网络无损和低延时的关键。本文将以RDMA网络作为切入点，结合实际部署经验，分析MMU水线设置的一些思路。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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相比APD，MPPC的增益可达到1^5~1^6，这样在理论上，可以在更短的时间内得到更长的距离信息，探测带宽也与APD不相上下。另外，拥有小而有效面积、更多像素结构的MPPC不仅具备较快的时间特性（上升时间仅1纳秒左右），还可利用它独特的光子分辨能力，将不同表面反射率的物体识别出来，从而达到测距同时分辨物体表面特性的目的。从这些性能上来看，MPPC非常适合脉冲测距法的应用，是自动驾驶上一维激光雷达的理想“小伙伴”。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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从应用的角度来看，虽然一些性能无法测试，但可根据规格书极限测试条件测试电源稳定可靠性，如电压、温度、负载等；也可根据规格书如电路，测试模块浪涌抗扰度、静电抗扰度、脉冲群抗扰度等；还可测试模块持续短路、重复关机等。电路当然，这些测试本身属于破坏性的，会造成模块一定的损伤，测试完后不应再使用在产品上。容性负载和过流保护电源容性负载能力越大，常意味着限流点设置较高。在机和输出短路时通常导致较高的电应力，甚至使变压器饱和。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室封-校验公司在电子设备的实际测试过程中,因单台供电电源的输出电压、电流，功率等无法满足要求，工程师通常会选择将多个电源并联运行，以增加系统驱动力及测试灵活性。但普通电源并联后，存在电流输出不均衡，动态响应延迟等各种问题，这样就会引起整个系统效率低下甚至崩溃。并联均流技术是当前电力电子技术发展的一大重点,艾德克斯IT6500C系列电源，突破传统电源技术瓶颈，其内置硬件环路，确保主从模式支持并联，且主动均流，每个电源平等均分负载电流。