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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

大气、云雾烟尘等会吸收可见光和近红外线，但是对于8～14微米(长波红外区)的热红外线却是透明的，热成像摄像却能有效穿透大气、云雾等环境拍摄出清晰的图像。下面介绍一款热成像产品的特点。先进的探测器技术采用一代非制冷红外焦平面探测器F_VOx(铁电氧化钒混合工艺)，高热灵敏度达5mK，温差分辨能力更强，同等条件下可探测、识别更细微的温差变化。探测器像元规格42×315，相比于同档次探测器具有热图像画面更加清晰、细致。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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电阻式检流电阻用电阻测量电流是一种直接方法，优点是简单，线性度好。检流电阻与被测电流放在一个电路里，流经电阻的电流会使一小部分电能转化为热。这个能量转换过程产生了电压信号。除了简单易用和线性度好的特点，检流电阻的性价比也很好，温度系数（TCR）稳定，可以达到100ppm/℃以下或0.01%/℃，不会受潜在的雪崩倍增或热失控的影响。还有，低阻（小于1mΩ）的金属合金检流电阻的抗浪涌能力非常好，在出现短路和过流情况时，能实现可靠的保护。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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而对于支撑端到端传输的基础网络而言，低延时（微秒级）、无损（lossless）则是 重要的指标。低延时网络转发延时主要产生在设备节点（这里忽略了光电传输延时和数据串行延时），设备转发延时包括以下三部分：存储转发延时：芯片转发线延迟，每个hop会产生1微秒左右的芯片延时（业界也有尝试使用cut-through模式，单跳延迟可以降低到0.3微秒左右）；Buffer缓存延时：当网络拥塞时，报文会被缓存起来等待转发。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验湘潭-报价多少目前的汽车越来越网络化，智能化，不断革新的ADAS技术，高品质的车载影音系统，结合大数据、云计算的自动驾驶技术，这些新技术的应用推动了对车载网络容量需求的爆发式增长，远远超过了传统汽车总线CAN\LIN的能力，需要新的汽车网络总线，在这个背景下，汽车以太网获得了飞速的发展。图1汽车以太网丰富的功能“汽车以太网”指用于车载电气系统的任何基于以太网的网络方案，它还可作为BroadR-Reach（或OPENAllianceBroadR-Reach）和100base-T1（IEEE802.3bw-2015）的统称，在任何一种情况下，汽车以太网都经过专门的，可实现车载网络的更快数据通信。