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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

挑战某山西火电厂提出，根据GB13223-211《火电厂大气污染物排放标准》中指出，所有大气污染物浓度均为标准状态 Pa时的浓度，并以mg/m3作为单位，新建燃煤燃油锅炉SO2以及氮氧化物NOX的排放限制一般都在1mg/m3。但是客户提出，德图烟气分析仪testo35使用的单位都是ppm，即为体积比浓度，那如何和国标进行配合。解决方案德图烟气分析仪testo34/35进入国内市场十余载，根据国内的客户需求一直在不同的，根据上述提出的问题，德图在进入国内市场的时候就已经将这个问题考虑在内，德图烟气分析仪不仅有ppm体积比浓度，也有mg/m3质量比浓度，但是在标准中要求，因锅炉运行时，效率不同，可以根据氧含量来权衡锅炉情况，所以需要将实际氧含量运行情况下的污染物浓度换算到基准氧含量情况下的污染物浓度。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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测量电阻时，在选择了适当倍率档后，将两表笔相碰使指针指在零位，如指针偏离零位，应调节“调零”旋钮，使指针归零，以保证测量结果准确。如不能调零或数显表发出低电压报，应及时检查。在测量某电路电阻时，必须切断被测电路的电源，不得带电测量。使用万用表进行测量时，要注意人身和仪表设备的安全，测试中不得用手触摸表笔的金属部份，不允许带电切换档位关，以确保测量准确，避免发生触电和烧毁仪表等事故。如何用万用表检测照明线路漏电故障照明线路一旦出现漏电现象，不但浪费电能，而且还可能引起触电事故。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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检查称重传感电桥的各焊点是否有虚焊、焊现象，造成称重传感电桥不工作。检查称重传感器本身，看上面是否有异物或粘附脏物，阻碍了传感器产生性形变，致使有载荷作用加在传感器上时，性体不能正常产生性形变，使电阻应变片的电阻不发生变化，导致称重传感电桥没有称重信号输出。无称重载荷作用在电子计价秤上时，称重的显示值不为零，而且显示的数值不稳定，数值不停的在变化。此故障俗称显示有零漂、不归零和跳字，产生此故障的原因是：称重传感电桥的某一桥臂有虚接、焊现象，或者是某焊点有“接地”现象；检查电源电压是否稳定，如果电源电压的稳定性不好，也容易跳字。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校郴州-检测公司在很多传统方法后，依然无法将燃烧效率的重要指标——燃烧烟雾降至。其中一个问题是火炬口的气流量大小不一，即从气体净化正常操作期间的小流量，到打应急泄压阀或工厂大排污期间的大流量。由此引起的火炬大小和亮度以及产生的烟雾量取决于易燃物质的释放量。可以通过在气流中注入空气或蒸汽等辅助气体来提高燃烧率，减少烟雾量。菲力尔的解决方案FLIR红外热像仪可识别火炬塔火焰和周围环境（通常是天空或云）热信号中的温差。