测试仪表计量平顶山-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电磁流量计的大多数鉴定实验是在液体流过流量计和校准规范设备或参比流量计的情况下进行的。应留意保证实验管道中液体均匀安稳活动，不受因为扰动导致的部分速度急剧动摇的影响。关于工业进程活动条件下所特有的雷诺数范闱内，这种扰动经常出现。有以下几种电磁流量计性能鉴定法：1.有必要保持鉴定集体与厂之间 密切的联络。在决议实验程序时应留意厂对外表的技能说明，并寻求对实验程序和实验成果提出定见。参比流量计或校准规范设备应有适宜的规模，能包含被试流量计的流量规模。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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此外，通过隐藏点（如Leica的T－probe）和扫描附件（如Lecia的T－Scan）的配置，应用范围十分广。此外，激光跟踪仪的自动跟踪功能，使其还具有动态测量的功能，在相关附件的配合下（如Lecia的T－MAC）,能完成物体的空间6D测量与评定。便携式测量臂这类测量装置的精度相对较低，一次的测量范围也较小（一般达1.5m球径左右），同时由于其多关节的结构特点，精度保持性相对较差，一般用于生产现场等精度要求较低的场合。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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和微波暗室的测试目的一样，TEMCELL也是一个模拟理想空间的天线测试环境，金属箱能够足够的屏蔽功能来消除外部干扰对天线的影响，而内部的吸波材料也能吸收入射波，减小反射波。TEMCELL不能对天线进行无源测试，只能对有源指标进行测试。由于空间限制，TEMCELL的吸波材料比较薄，而对于劈状吸波材料，是通过劈尖间的多次反射增加对入射波进行吸收，因此微波暗室里的吸波材料都比较厚，而TEMCELL的吸波材料都不购厚，因此对入射波的吸收都不是很充分，因此会导致测试的结果不。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表计量平顶山-审厂 可见光是人眼能够感受的电磁波，经三棱镜折射后，能见到红、橙、黄、绿、青、蓝、紫七色光红外线是这些电磁波的一部分，它和可见光、紫外线、X射线、γ射线和无线电波一起，构成了一个完整连续的电磁波谱。如上图所示，波长范围是0.76μm到1000μm的电磁辐射，我们称为红外线辐射。任何温度高于零度(-273.15°C)的物体都在不停地发射红外辐射(热辐射)。人眼看不见，且不同温度对外辐射的波长不一样。对于人体而言,体内温度相对是恒定的(具体内容:肛门温度:36.6°C~38°C;口腔温度:35.5°C~37.5°C;腋下温度:34.7*C~37.3°C;耳蜗温度:35.8°C~38°C;额头温度:35.8°C~37.8°C)。