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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

激光测距仪有哪些牌子激光测距仪当今热门进口品牌有：徕卡、图柏斯、欧尼卡、喜利得、纽康、博世、博士能、奥卡、镭创……国产品牌优利德也有激光测距仪。品牌众多、测量距离、测量功能各不相同。如果选择适合自己的激光测距仪确实如同大海捞针，今天给大家讲讲测距仪的分类和选择。按激光波长划分徕卡、喜利得、博世这三个热门品牌对应激光测距仪激光波长都是635纳米，这个波段代表的是可见激光，短距离测距仪，测量范围-2米内。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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启动期间的辐射电路上图显示了启动过程中的辐射电路，将热图像和视觉图像进行数字融合。对穿过管道的伪正交直线LiLi2和Li3进行了剖面分析。在右侧，直线Li2显示的是一个较冷、不均匀的区域，应进一步 ，因为这可能意味着熨平板的厚度或用于饰面的粘合剂发生变化。绿色的Li4线强调了这种不应该沿着几分米长的管道发生的热变化。 终选择FLIRE8ValerioDiStefano一直在使用FLIRE8红外热像仪检查地板供暖系统。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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如果只在竖直(Y轴)偏转板上加一交变的正弦电压Uy=U0sinωt，则电子束的亮点将随电压的变化在竖直方向来回运动。由于Ux=0，所以光点在X轴方向无位移，在荧光屏上将显示一条竖直亮线。如果只在水平(X轴)偏转板上加上一个与时间成正比的锯齿波扫描电压Ux=KT(它可由示波器内的扫描发生器产生的)，电子束将在水平方向作周期性地从一边匀速到另一边，如果锯齿波的周期较长，在荧光屏上可以看到电子束的过程，如果锯齿波的周期足够短，荧光屏上将只显示一条水平亮线。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校深圳-电话借助FieldFox分析仪所应用的InstAlign技术，您可以使用ERTA实施的增益或损耗测量。主要特性与技术指标：长有损电缆的标量测量。使用频偏功能的转换器标量测量。测量：增益/损耗（B/R）、输入功率（R）、输出功率（B）。需要两台FieldFox分析仪，每台都配有ERTA选件和附件。ERTA系统频率受每台分析仪的频率范围的限制（两台N9918A的频率范围为26.5GHz）。