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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

有了低通滤波，就能滤除高频信号对测量结果的影响，从而达到测量的目的。工程上低通滤波万用表能解决哪些实际应用？可以测量变频器或逆变器的基波信号可以用于逆变器和电机驱动检测如何选择一款 合适您的万用表呢？目前市场上万用表款式繁多，该如何选择一款好用而又高性价比的万用表呢？使用优利德带LPF功能的万用表/钳型表（优利德UT171/181系列等），内置低通滤波器会拦截高于1KHz的信号，弱化低于1KHz高于100Hz的信号。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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以下就以热电偶、热电阻功能为例进行简述。热电偶配合管式检定炉可检定8种分度号的热电偶。配合8种热电偶中的任何一种测量温度，可测量温度范围为0℃～1800℃。热电阻配合水槽、油槽可检定4种分度号的热电阻。配合4种热电阻中的任何一种测 输出功能可输出直流电流、直流电压、电阻、模拟变送器、热电偶、热电阻、频率。这部分功能对于仪表检测的信号输入有着非常重要的意义。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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X射线探测器将样品元素的X射线的特征谱线的光信号转换成易于测量的号来得到待测元素的特征信息。式光谱仪的应用非常广泛，涉及：电力、石化、考古、金属、压力容器、废旧物资、航天、地质勘探、矿山测绘、采、矿石分选、矿产贸易、金属冶炼、环境监测、土壤监测、玩具、服装、鞋帽、电子产品等众多领域。便宜、快速的式拉曼光谱仪正在迅速成为原料采购质量控制的有力工具。拉曼光谱仪是快速鉴定未知化合物的有力工具，检测高纯度化学品、成分验证和高分子材料的表征。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校验铜川-认证单位新一代无源光网络(PON)Tyndall光电子封装小组研究经理Dr.LeeCarroll表示：“过去的十年见证了硅光子从出现到成为新一代信息通信技术应用媒介的发展过程。采用面对面叠加法（3D集成）在硅光子集成电路(Si-PIC)顶部驱动器电子集成电路是一种基于光电子实现高速电子解调与分配的实用方案。Tyndall研究院目前正在研发用于高速家用光纤网络连接的新一代无源光网络(PON)演示模块。