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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

由于不规则的脉冲序列分布，其非周期性的特点，使得峰值功率分析仪的普通触发方式难以准确测量这种类型的脉冲信号。需要通过峰值功率分析仪的触发释抑功能进行测量。峰值功率分析仪测量复杂脉冲调制序列的方法雷达、遥感追踪、核磁共振成像和无线通信应用如TDMGSM等复杂调制信号如下图所示，脉冲序列在时域上是不规则分布的，在较长时间内是重复的周期信号，但在短时间内则不是。由于脉冲序列的非周期性，峰值功率分析仪使用普通触发方式无法准确测量这种类型的脉冲信号。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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对于仪器本身，用户们希望仪器能在被测产品工作之后立刻产生测试谱线和频率、幅度数据，但是往往这需要一个时间过程。RIGOL的DSA系列频谱分析仪具备快速响应的特性，同时其“连续峰值”功能，可以保证在信号谱线被捕捉到的同时，实时捕获当前的调制载波频率和发射功率，连带工人操作被测产品时间测试速度达到5s/个。图三：RIGOL-DSA12测试界面B，化测试系统，以实现自动化测试。为了进一步加快测试速度，同时实时保存测试数据，进一步统一产品的测试评判标准，RIGOL工程师为客户发了一款遥控器自动测试软件。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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您的万用表测量变频型号准确吗？您是否在为因高频信号干扰而引起的无法测试而烦恼吗？您是否对于工程测量结果一直在跳数而难以作判断呢？绝大多数数字万用表在测量含高频成分的电压时，往往读数不准，这时候我们应该采取什么样的解决对策呢？为什么要选用带有低通滤波器的万用表呢？使用带有低通滤波器的万用表，上述问题通通能够解决。首先我们来介绍一下什么是低通滤波器，低通滤波器就是允许低频信号正常通过，而高频信号就会受到阻隔或衰减的电子滤波装置。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室宜昌-认证中心在这种情况下，因为可见光受到影响，我们人眼看不到整个环境中的状况，需要用红外成像技术，来帮助我们消防战士们掌握火场内的情况。火灾预防/探测，防患于未燃持续监测仓库探测废料仓中的火灾风险CATS6实现消防用红外热像仪从高科技产品变成消防救援必备工具早些时候，由于红外热像仪的费用比较昂贵，成本较高，国内与国外的消防员都不敢大胆使用。但随着红外热像技术的普及和发展，红外热像仪在欧美，已经变成每辆消防车的必备一起。