轻工实验室肇庆-CNAS认证机构

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轻工实验室肇庆-CNAS认证机构轻工实验室校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

步进电机工作原理当电流流过定子绕组时，定子绕组产生一矢量磁场。该磁场会带动转子旋转一角度，使得转子的一对磁场方向与定子的磁场方向一致。当定子的矢量磁场旋转一个角度。转子也随着该磁场转一个角度。每输入一个电脉冲，电动机转动一个角度前进一步。它输出的角位移与输入的脉冲数成正比、转速与脉冲频率成正比。改变绕组通电的顺序，电机就会反转。所以可用控制脉冲数量、频率及电动机各相绕组的通电顺序来控制步进电机的转动。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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线性度、精度、采样速率和混叠现象都会影响转换结果的有效性。量化误差和线性误差可能影响实际有效分辨率的位数。这都将影响模数转换结果的有效数字位数。中ADC可对模拟输入信号一种阶梯状的近似。在这种结果中存在由于温度漂移、线性误差和其它因素引起的误差，从而导致转换结果比实际的有效位数减少。模拟微控制器的性能或精度会由于其内部紧密靠近受到影响吗？大多数精密模拟微控制器被设计用来程度减少系统中模拟和数字部分之间的任何干扰问题，因为在同一芯片内单独的ADC或DAC将它们的模拟和数字元件隔离。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的 ℃的范围内，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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现在我们使用IT7600交流电源和IT8600交流电子负载来测试一个客户的样品——交流电磁关。规格分别为120V/60Hz和230V/50Hz。根据电磁关工作原理，我们将线圈与电源、负载按如下结构进行接线。为了更方便的进行测试，使用IT8600上位机软件——IT9000_PV8600编辑了一段电流变化程序。设置电流B两种越变电流，电流A持续时间为Ta，电流B持续时间为Tb。那么Ta+Tb则为一个测试周期。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的概述在所有射频和微波系统中几乎都要用到放大器，放大器更是通信、雷达或 转发系统中不可或缺的组成部分。如此普遍的应用使放大器测量为工程师们所熟知，在平时的测量中，我们关注较多的是其线性参数，诸如增益和回波损耗，输入和输出功率等，但是当放大器的输入功率超过一定值之后，它的工作状态也在发生变化，比如增益下降，谐波增大，互调增大等，如果不注意这一点会对系统的设计带来麻烦甚至毁灭性的破坏，诸如稳定性、增益压缩、功率消耗（或者效率）和失真测量越来越引起工程 矢量网络分析仪中放大器增益压缩测量功能如何快速准确地进行放大器增益压缩等参数的测量。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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依据此数据库，可自动生成各种统计报表，包括X-BARR及X_BARS图表、频率直方图、运行图、目标图等。美国公司的Cameleon测量系统所配支持软件可包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计50多个测量模块。日本Mistutor公司研制发了一种图形显示及绘图程序，用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较，具有多种输出方式。STRATA-UX系统简图非接触测量基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM上代替接触式探头。