仪器计量平顶山-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

基于3672系列矢量网络分析仪的大功率输出（部分频段典型值+17dBm）和丰富的先进校准技术（包括源和接收机功率校准，SOLT，TRL，非插入校准和Ecal等）发的放大器增益压缩测量选件，所采用的二维扫描技术克服了传统测量方法只能点频测量的缺陷，极大地提高了测量效率，通过功率校准和误差修正，使测量结果更加准确。仅需一次设置，经过向导校准，连接被测件，就可以得到放大器在所有设置频点的增益压缩参数和线性参数。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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此外，SpectrumView还支持多通道频谱测试，这得益于TEK049支持同时对每个通道的信号作频谱分析。同时观测两个通道的时域波形及频谱TEK049的多通道时域波形显示方式，所的频谱既可以“堆栈(Stacked)”显示，也可以“重叠(Overlay)”显示。同时观测了两个通道的时域波形及频谱，并且采用了重叠显示，以便于频谱之间的对比。所有通道的频谱共用相同的Span、RBW、FFTWindow及SpectrumTime，这一点与时域要求多通道间共用采样率、水平时基及触发类似。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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外部广播，新闻采集和 上行报告需要针对通信问题的创新解决方案，因为目前的全数字环境，需要高完整性馈送和非常高的数据速率，如270Mbps，0Mbps和1.485GbpsSDI/HD-SDI/ASI高清音频。Trimble-FSO成立于1999年，代表了无线通信领域的技术。Trimble-FSO技术高安全性，可扩展性和卓越的性价比，并已成功部署于SP，ISP，健康，教育，金融，零和工业等行业的应用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量平顶山-审厂 现在微信运动、华为运动健康等大多数计步软件是通过手机内置的角速度传感器、重力传感器、加速度传感器等一系列传感器的组合运用对我们携带手机过程中的各类活动数据进行监测，然后再通过手机软件分析、计算得出我们每天的运动量的。传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、、存储、显示、记录和控制等要求。其中，角速度传感器可以测量出手机的角度，从而监测到人体重心的位移， 终生成我们的运动记录。