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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

工业以太网机作为目前 为重要的电网通信设备解决方案，使电力设备在线监测技术也得以快速发展，并逐步走向实用化阶段。目前，工业机协议的标准化早已完成，包括底层协议、网络冗余协议、管理协议、网络时钟传输协议等，不同厂商产品互通性好，还可以实现混合组网。无风扇、低功耗的工业标准设计，-40℃～85℃的工作范围完全能够满足工业现场需求，满足电力系统建设。同时，工业以太网机主要采用分段冗余、相交环、相切环等混合组网方式，提高了组网的可靠性，多种光电口灵活配置，高度集成，一体化方案设计更为电网建设了便利。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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”于是，他埋头研究，向新的目标发起了冲击。1894年，波波夫制成了一台无线电接收机。这台接收机的核心部分用的是了的金属屑检波器，波波夫采用电铃作终端显示，电铃的小锤可以把检波器里的金属屑震松。电铃用一个电磁继电器带动，当金属屑检波器检测到电磁波时，继电器接通电源，电铃就响起来。有一次，波波夫在实验中发现，接收机检测电波的距离突然比往常增大了许多。“这是怎么回事呢？”波波夫查来查去，一直找不出原因。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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物联网(IoT)已逐渐深入现代人的生活，分析师估计2015年年底的连线装置数量将达到5 个数量预估将达到400亿台，远远超过地球的人口数。IoT的核心是让万物相连成为可能的连线技术。而在2015年后以及未来，有哪些值得关注的新兴连线技术趋势？首先是透过两种新无线技术上网与串流功能——5GHz频段的802.11ac与60GHz频段的802.11ad。由于消费者串流的内容愈来愈多，因此稳定的无线网路连线就变得更加重要。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室信阳-认证公司幅值评估信号质量的好坏与信号的幅值（幅值是指顶部值与底部值之间的差值）密切相关，幅值对应的顶部值和底部值需在ISO11898-2定义的范围之内，否则 分电平参考范围ISO11898-2隐性差分电平参考范围幅值异常，会使CAN通信的容错性降低，如所示，幅值对应的顶部值只有 CAN差分信号幅值过低幅值评估公式如下：无干扰电压范围幅值评分由计算公式可知，幅值的评估与无干扰电压范围密切相关，当无干扰电压范围为1V时，评分，为0%；而2.2V为无干扰电压范围的值，对应评分为 。