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测试仪表校准六安-认证中心测试仪表校准校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

所有获取帧叠加显示允许快速的视觉比较.所有获取帧叠加显示允许快速的视觉比较在中，分段存储帧被叠加，因此所有的脉冲在屏幕上看起来都是堆叠在一起的。这允许对所有获取帧进行 波形以蓝色显示在叠加帧的顶部。参考帧和所选帧之间的时间差(Delta)显示在显示器右侧的结果面板中。Fastframe分段存储方法的优点包括：?高Fastframe波形捕获率增加捕获偶发事件的概率?使用高采样率保证了波形细节?使捕捉脉冲的死区时间，确保有效利用记录长度?存储帧可以快速和直观地进行比较，以确定是否在叠加显示中出现异常显示平均总结帧信息.5系列MSO分段存储显示，显示平均总结帧信息Fastframe分段存储支持标准的样本采集模式，以及峰值检测和高分辨率模式。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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ZDS2系列示波器标配4Mpts的FFT，在1GSa/s的FFT等效采样率下频率分辨率仍能精细到25Hz，可准确快速的分析信号干扰来源。数字滤波器功能。它是使用IIR或FIR数字滤波器，对被测信号进行数字滤波。通过较少的计算量，可以使通带内具有很好的平坦度、阻带内有足够的衰减和足够小的阻带纹波。ZDS224示波器标配的IIR数字滤波功能可选择高通或低通滤波，截止频率可选择1Hz到1MHz的宽调节范围。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内，其 ，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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位移传感器种类繁多,近年来应用领域不断扩大,越来越多的创新技术被运用到传感器中,我们通过几种在工业生产中的典型应用，来更多地了解各种不同的位移传感器。位移传感器在盾构机中的应用在隧道施工设备中，不同形式的盾构机，其主机的结构特点和配套设施也不相同。在一些复杂的盾构机上，盾构机的功能是系统和多样化的。包括：机械、液压、测量和控制等多种功能。，在一些复合式盾构机上，就包括有挖系统、主驱动系统、推进系统、注浆系统、液压系统等多种功能。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的分别使用SpectrumView和传统的FFT(Math功能)测试该信号的频谱，通过对比可以看出，由于时域捕获时间较短，导致传统FFT频谱的分辨率非常低。相反，SpectrumView的频谱测试结果非常好，不仅具有高分辨率，而且底噪也非常低，可以清晰地观测信号本身及其谐波和杂散。与此同时，由于水平时基设置得较小，还可以观测到时域波形的细节信息。.谐波、杂散测试：时域参数及频谱测试鉴于SpectrumView的这些优势，结合示波器其它功能，还可以对射频脉冲信号进行诊断测试，包括时域包络参数及信号频谱等。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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1×、10×这些名称的由来，是因为之前的示波器没有自动识别探头衰减系数和自动调节的能力，所以需要通过1×、10×这些名称来提醒测试者记得要把测量出来的结果乘以相应的倍数。带宽带宽也同样是一个探头必备的参数，指的是探头导致信号衰减-3dB情况下的频率点。如下图所示：如100MHz探头就有100MHz带宽，500MHz探头就有500MHz带宽。一些探头，还会有一个低频的带宽频率，比如一些AC探头，不能传递DC信号，它在低频段会有一个带宽参数。