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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电磁流量计（ElectromagneticFlowmeters，简称EMF）是随着电子技术的发展而迅速发展起来的新型流量测量仪表。电磁流量计是应用电磁感应原理，根据导电流体通过外加磁场时感生的电动势来测量导电流体流量的一种仪器。首要明确本单位的计量需求应明确的计量需求有若干，主要有：测量介质，流量m3/h（zui小、工作点、zui大），介质温度℃，介质压力MPa，形式（管道式或插入式）等。选用电磁流量计的前提条件被测介质必须是导电性的液体（即要求被测的流体具有zui低限度的电导率）。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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启动期间的辐射电路上图显示了启动过程中的辐射电路，将热图像和视觉图像进行数字融合。对穿过管道的伪正交直线LiLi2和Li3进行了剖面分析。在右侧，直线Li2显示的是一个较冷、不均匀的区域，应进一步 ，因为这可能意味着熨平板的厚度或用于饰面的粘合剂发生变化。绿色的Li4线强调了这种不应该沿着几分米长的管道发生的热变化。 终选择FLIRE8ValerioDiStefano一直在使用FLIRE8红外热像仪检查地板供暖系统。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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而如果说在34G时代，更多是跟随标准，我们能明显看到5G时代不仅在积极参与有时甚至处于领导地位。”.NI 5G进程表Luke坦言，已成为5G “战场”的重要一环，一方面，基于从5G原型部署到测试的NI化解决方案积极协助研发力量抢占5G商用先机;另一方面，融合 经验助力5G商用化加速，Luke认为NI的5G战略已经非常明晰。作为IoT万物互联的关键，5G正在结成一张巨大的通信需求网，融入各行各业。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验周口-校验公司可以说是一种小的动物通过简捷的方式实现“无线”的沟通。人们借此称呼一种专注于低功耗、低成本、低复杂度、低速率的近程无线网络通信技术，亦包含此寓意。它是基于IEEE802.15.4协议发展起来的一种短距离无线通信技术，功耗低，被业界认为是 有可能应用在工控场合的无线方式。Zigbee是一个由可多到65000个无线数传模块组成的一个无线数传网络，在整个网络范围内，每一个Zigbee网络数传模块之间可以相互通信，每个网络节点间的距离可以从标准的75m无限扩展。