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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

复杂的多端口测试和非插入器件测量对测试精度而言是一个挑战。电子校准件连接方便、简单，在矢量网络分析仪多端口器件测量中具有独特优势，其两个基本功能为：全自动电子校准电子与机械的混合校准前者单独使用电子校准件完成校准，后者与机械校准件配合使用。本文重点介绍全电子与机械的混合校准。此方法相比前者略复杂，可兼容前者，且使用更加灵活。D矢量网络分析仪电子校准件是矢量网络分析仪新型校准件；机械校准是传统校准件。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在频谱分析仪中，内部的微器可以改变中频增益从而补偿输入衰减器的变化。所以当改变输入衰减器时，分析仪输入的信号在显示器上的位置并不改变，只是显示的噪声上下。这时参考电平保持不变。如下图所示，当衰减从10dB增加到20dB，DANL上升而信号电平保持不变。的输入衰减(0dB)将会获得信噪比，但不幸的是此时的阻抗匹配也是 差的，因此尽量避免0dB的设置。当被测信号远大于噪声电平时，可以设置为自动衰减。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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生态游客已经发现了普林塞萨港地下河 公园，该 公园拥有原始的自然美景及独特的野生动物。游客可以乘船游览这个巨大的洞穴，看到数以百计的蝙蝠、巨型蜥蜴、猴子、蛇、海蛇及其他野生动物。保护生物多样性遗憾的是，旅游业的发展往往会对环境造成影响。完全意识到这种风险后，通过菲律宾/意大利的协作努力启动了一项名为“支持普林塞萨港地下河（PPUR）地区可持续生态旅游”的计划。该计划旨在研究洞穴中的动物群，并 终旨在为可持续旅游业和该地区生物多样性的保护作好准备。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校宿迁-CNAS检测公司所以说，大工件应该是精度和体量的统一体。如果一定要从尺寸上来区分的话，也许以2m体量起，有机精度要求的机械零件就可以认为是大工件。比 ×800mm）、小的风电轮毂(球径3000mm左右)等，而且其孔系的位置度要求非常高（0.03mm左右），能应对其长宽高体量特征和测量精度的常规固定式坐标测量机已不多。以此类推，那么汽车白车身这一类工件的测量则不被认为是大工件，因为已经有成系列的 坐标测量机，同时由于是钣金成形及拼接件，其总体精度与机件相比还有一定的差距。