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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

按此计算，两机 个点。测量点的选择、模拟与确认整个焊装生产线共有四个关键的总成状态：侧围总成、发动机舱总成、地板总成及车身总成。我们只采用了一套在线检测系统，即白车身的在线检测系统，测量的点数越多，在线监控的视野也就越广阔。在计算机之前，以固定式三坐标测量点为基础，并根据测量点的重要性，经过计算机三维模拟及现场调试，共确定了77个测量点。检测的实现及可实现的功能检测过程如所示，白车身在滑撬上运动到检测工作站停下并，线控制器给检测站控制器发“到位”信号站控制器给机器人发“车型”及“启动”信号机器人接到信号后始工作，机器人在每个测量点向测量控制器发“测量请求”和“测点ID”信号，等待测量控制器发回的“测量完成信号”测量系统接到信号后始测量并记录数据，然后传递到测量分析软件进行，测量结束后向机器人发“测量完成”信号机器人收到“测量完成信号”后始向下一测量点运动，至此完成全部待测点的测量。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一个捕获周期包括采样时间和死区时间，模拟信号通过ADC采样量化变转为数字信号同时存储，整个采样存储过程的时间称为采样时间。示波器必须对存储的数据进行测量运算显示等，才能始下一次的采样，这段时间称为死区时间。死区时间内，示波器并没有进行波形采集。一个捕获周期完成就会进入下一个捕获周期。捕获周期的倒数就是波形刷新率，如.1中所示，波形刷新率=1/(Tacq+Tdeat)。.1示波器采样过程示意图影响波形刷新率的因素有哪些?采样时间和死区时间如.1中所示，波形刷新率为Tacq(采样时间)和Tdeat(死区时间)的倒数，其中采样时间由示波器屏幕的采样窗格决定，用水平时基档位乘以水平方向格数，当水平时基确定后，采样时间就会固定。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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RFID技术可应用于飞机作业与流程跟踪领域,通过采用RFID技术，系统能够自动采集生产数据和设备状态数据，为生产管理者企业业务流程所有环节的实时数据，结合各工序设备的工艺特点和相关的工艺、质量指标参数，进行各生产重要环节的工艺参数和设备运行参数等生产信息的在线监测和分析，帮助企业实现生产过程中半成品工序、成品工序的计量等。通过采用RFID技术，可极大提升业的水平。射频识别(RadioFrequencyIdentification,RFID)技术是现代科学技术在社会各方面的创新性应用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室徐州-认证中心测试方法：由于客户测试的心率测试模块可以外接蓝牙及时监控记录，因此使用精密电源IT6412供电，串接一台高精度电表为电流量测比对，以此来量测关机泄漏电流与待机功耗，工作电流与功耗等参数指标。4电子器件测试——磁保持继电器测试磁保持继电器的老化测试，就是重复让产品断和闭合，进行老化测试。脉冲波形：+4.5V,5msV,5ms-4.5V,5msV,5ms。测试磁保持继电器的吸合电压和释放电压。