测试设备校正南平-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

如今，汽车排放污染已成为城市大气污染的重要因素，并且，217年我国进口石油的比例已经上升到使用数量的67%。随着能源以及环境问题的日益严峻，我国发展新能源汽车用电代油已成为一项重要战略。电动汽车的一个重要特点就是带有高压动力回路，其工作回路中的电压甚至可以达到6V以上。因此在考虑电动汽车给我们带来环保效益的同时，高压安全问题同样不容忽视。如何保护相关人员的安全已成为我们关注的重点。首先我们先定义一下高压安全。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如果我们用积分法和光度法去测试同一个灯，对比测试结果我们会发现二者测试的总光通量数据有较大差异。本文重点讲述的是LED灯具在积分球和分布式光度计中流明测试的差异。积分法测试总光通量的原理是通过光通量标准校准。由于用标准灯校准，所以不必知道球体的光谱输出量，被测LED灯产品的光通量φTEST（λ）是与标准灯比较计算出来的。通常来讲积分法适合用于小型集成LED灯具和相对较小的LED光源测试总光通量和色度参数，这是总光通量的相对测试方法，采用积分法具有测量速度快和无需暗室的优点，通常体积越小，越接近于点光源的灯具测试结果越准确。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在理想状态下，当被测烟气与参比气浓度一样时，其输出电势E值为0mV,但在实际应用中，锆管实际条件和现场情况均不是理想状态。故事实上的锆管是偏离此值的。实际上，一定氧含量锆管输出的电势为理论值和本底电势的和，我们称为无浓差条件下锆管输出的电势值为本底电势或称为零位电势，此值的大小又在不同温度下呈不同的值，并且随锆管使用期延长而变化。如不对此情况，会严重影响整套测氧仪的准确和探头寿命。氧化锆氧量分析仪主要用于测量燃烧过程中烟气的含氧浓度，同样也适用于非燃烧气体氧浓度测量。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正南平-计量公司是 人机界面需求量的市场，但却不是 人机界面产品销额的市场。国内的自动化产业，一些原本不用人机界面的行业，也始使用人机界面了，这说明人机界面已经成为客户体验的不可缺少的一部分，人机界面的用户界面能更好地反映出设备和流程的状态，并通过视觉和触摸的效果，带给客户更直观的感受。机械控制界面传统的工业控制显示一般使用液晶显示屏或者直接在PC中显示，液晶显示屏只能够显示一般的信息，让数据以生动的形式呈现比较难，提高了用户在接收信息上的难度；而PC电脑上呈现数据的发时间和人力成本较高，导致界面设计比较简朴。