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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

另外，被测T/R组件置于屏蔽箱内，相当于一个罩，不但可以保证操作人员的安全，而且可以降低产线上不同测试系统之间的相互干扰。因测试的需要，屏蔽箱壳体上需要孔穿过电源、控制、射频电缆和液冷管等。为保证屏蔽性能，应尽量避免细长孔，也不能有直接穿过屏蔽箱的导体。增加端口驻波比告电路保证T/R组件的安全利用定向耦合器、检波器和模数转换电路等可以实现每个发射输出端口驻波比的实时监测。该电路的目的不是为了实现端口驻波比的 测试，只要监测到端口发生失配甚至路，则小目标实现。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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再来说说汽车充电系统的工作过程。当我们打点火关，蓄电池向汽车各用电设备供电，电控系统自检，为发动机启动好准备；同时蓄电池也会向发电机转子励磁电流，为发电机发电好准备；当我们把点火关拧到启动档时，起动机接通，蓄电池给起动机启动电流，带动发动机转动，并使发动机点火启动。当发动机正常工作后，发电机也随发动机高速运转，定子绕组切割转子绕组的磁力线，产生三相交流电流，经过硅整流后变成直流电向外输出，给汽车的用电设备使用，多余的电能用来给蓄电池充电。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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毋庸置疑，这种运营方式代价高昂，更不必说这绝不可能是无懈可击的全天候控制过程。多年来，采矿工业极为关心泄漏和水资源管理对环境的影响，并且一直在积极寻求监控方法。”考虑到这些需求，IntelliView发出一种行之有效的、能在数秒钟之内检测和报小规模地上液体泄漏、和汇聚成池的方法。IntelliView的泄漏检测解决方案采用新一代称之为DCAM?(双摄像头分析模块)的产品，一款将可见光相机和FLIR热像仪与内置专利型泄漏分析技术集于一体的紧凑型产品。18年1月3日，NI(美国 仪器，NationalInstruments,简称NI)作为致力于为工程师和科学家基于的系统解决方案来应对 严峻工程挑战的商，宣布推出PXIe-4163高密度源测量单元(SMU)，该测量单元了比以往NIPXISMU高达6倍的直流通道密度，适用于测试RMEMS以及混合信号和其他模拟半导体元件。NI 销和市场执行副总裁EricStarkloff表示：“5物联网和自动驾驶汽车等性的技术发展给半导体企业带来持续的压力。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具外校广州-CNAS检测公司在电源行业，示波器是通用的测试仪器，但许多特色需求，比如电源测试要求通道隔离，有时通道数量需要8个以上，以及CAN通讯等，这些需求示波器都无法满足。但是对示波 来讲，这些需求都不是问题。隔离测试隔离测试是电源产品非常重要的诉求，一般示波器均是不隔离，若示波器地与非隔离电源的地直接相连，可能会造成电源烧毁，示波器炸机的情况。基于此问题，目前衍生出的解决方法大致有以下两类。剪除示波器供电插头地脚示波器不隔离的核心后果是造成测试时，输入输出共地造成短路，所以，若能剪除示波器供电电源插头的地脚，从而切断示波器与地的连接，就不会造成短路。