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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在没有火出现的场景中，红外热像仪将在高灵敏度模式下操作，显示热环境的全部细节。就FLIRK系列红外热像仪而言，高灵敏度模式能够测量高达+15°C的温度。如果发生火灾，热像仪将会切换到低灵敏度模式，该模式可实现较低灵敏度（较少细节）和较高表面温度监测能力之间的 平衡。就FLIRK系列红外热像仪而言，低灵敏度模式能够测量高达+65°C的温度。测量更高温度，即超过+65°C，意味着转换到更低灵敏度模式（所谓的第三增益模式），在此模式下，能测量更高温度，但是须以牺牲图像细节和对比度为代价，导致不可接受的图像质量损失。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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研究发现：减小微波脉冲的宽度与提高微波脉冲的峰值功率都能改善成像分辨率、获得更好的成像效果。同时，越窄的微波脉宽（几十纳秒脉宽），对身体潜在的热损伤越小。基于1465系列微波信号发生器（窄脉冲选件）为您具有高速上升下降沿时间（1ns以内）、高精度脉宽到2ns和准确稳定的功率电平输出窄脉冲调制信号，且窄脉冲调制信号具有多种调制格式如脉内线性调频、脉内调相等特点，能够为被测设备的测试更丰富的激励信号。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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智能网联汽车的概念以及应该重点研究的关键技术。智能汽车是在一般汽车上增加雷达、摄像头等先进传感器、控制器、执行器等装置，通过车载环境感知系统和信息终端实现与车、路、人等的信息，使车辆具备智能环境感知能力，能够自动分析车辆行驶的安全及危险状态，并使车辆按照人的意愿到达目的地， 终实现替代人来驾驶决策及操作的目的。智能汽车的初级阶段是具有先进驾驶助系统(ADAS)的汽车，智能汽车与网络相连便成为智能网联汽车。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正池州-外校单位其二，可以将隔离电源的输入地与输出地连接在一起变成非隔离，由于都是等电位，即不会出现打火拉弧现象。通过以上两种方法，均可以确定是否是由于隔离电源输入与输出之间的走线间距问题导致打火拉弧。整改过程：通过分析确定是隔离电源输入与输出之间走线间距不足，共模浪涌导致两端高压差问题。为此将打火处的走线断，此处便不会再出现打火。同时如果其他地方有同样的问题，在断前面的打火处后，则共模路径为转移到下一个间距不够的地方，因此需要将这些隔离间距都断，并满足共模电压间距要求。