轻工实验室阜阳-计量单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

滤波电路设计滤波电路用八阶低通椭圆关电容滤波器，椭圆滤波器相比其他类型的滤波器，在阶数相同的条件下有着的通带和阻带波动。巴特沃兹滤波器的幅度函数是单调下降的，但巴特沃兹滤波器能实现平坦幅度滤波；切比雪夫低通滤波器的幅度响应在通带内是在两个值之间波动，在通带内的波动次数取决予滤波器的阶数。为进一步减小高次谐波对有用信号的影响并保证通频带内平坦幅度滤波，在关电容滤波器后加上巴特沃斯低通滤波器。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一致性测试通常作为产品投产前设计质保的一部分完成。一致性测试内容繁多，耗时长，如果在产品发的这个阶段EMC测试失败，那么会要求重新设计，不仅成本高昂，而且会耽误产品推出。执行预一致性测试可以帮助您在把产品送到正式测试前发现不符合规范的情况。一款基于USB接口的RSA36实时频谱分析仪的问世，预一致性测试变得前所未有的简便和经济，放射辐射测量和传导辐射测量可以帮助限度地减少产品通过EMI认证所需的费用和时间。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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测量体温已经成为一种全民日常行为。在多种多样的体温检测仪和测量原理中，红外热成像产品因其非接触式、大面积扫描、快速、无感测温的特点，在大规模场景、密集处、公共场所大放异彩。来源：微博- 一时之间，不少人纷纷始搜索红外热成像原理，研究视场角FOV、发射率ε、环境温度等参数，以确保测温准确性。然而，红外热成像产品属于“上手容易、精通难”。对于普通使用者来说，有没有可能撇专业的参数设置，简单操作即可满足体温筛查需求？德图热像仪防疫检测功能，可以帮助您简化仪器操作。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室阜阳-计量单位在无线电和射频系统中，许多场合要求使用幅度和相位完全可控的混频器/变频器，因此要求对混频器/变频器的一致性进行测量。混频器/变频器矢量测试方法，虽能同时测量幅度、相位、群延等信息，但对校准过程中的校准混频器提出了互易性要求。由于混频器/变频器组件常带有放大、滤波等环节，实现互易性非常困难，所以混频器/变频器矢量测试方法测量其一致性非常不便。在矢量网络分析仪中发的频偏测量方法，能很好地解决互易性困难且需要进行混频器/变频器一致性测试问题，其原理是将矢量网络分析仪源输出频率调节到不同于接收频率上进行测量。