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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

尽量扩大测量动态范围1)通过计算平均值提高测量分辨率2)利用高分辨率采集提高测量分辨率3)使用交流耦合去除直流偏置4)使用示波器和探头限制带宽选择优化信号完整性的探测方法5)使用差分探头进行安全且的浮置测量6)不要选择耦合辐射功率的探测附件7)选择避示波器 灵敏设置的探头秘诀一:通过计算平均值提高测量分辨率在某些功率测量应用中，您需要测量大动态范围的值，同时还需要精细的分辨率，以测量参数的微小变化。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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城市交通在城市的发展过程中愈来愈重要，而城市轨道交通占据突出的位置。世纪6年代以来，随着电力电子技术、计算机控制技术的进步，采用交流调速技术、直线电机驱动的高速磁浮列车应运而生，列车不再通过黏着力牵引，而且爬坡能力更强。在改善城市交通的时候，各个城市根据自己城市的具体特点选择交通系统的范围也更宽。安全、舒适、高密度运行，通过引入新技术达到节能，保护环境，降低成本，从结构和性能上采取措施，不断进行，保持先进性是城市轨道交通存在的价值。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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温湿度传感器是一种常用的测量仪器，可以将感受到的温度和湿度量转换为容易被测量的号输出，在多个行业中都有一定的应用。温湿度传感器的测量方法是什么呢?温湿度传感器的测量方法常见的湿度测量方法有：动态法(双压法、双温法、分流法)，静态法(饱和盐法、硫酸法)，露点法，干湿球法和形形 的电子式传感器法。这里双压法、双温法是基于热力学P、V、T平衡原理，平衡时间较长，分流法是基于湿气和干空气的混合。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校济南-审厂测试线方向不对，距离不够长。解决措施：找准测试方向和距离。可能在使用接地电阻测试仪时有其他设备的干扰影响。br/解决措施：调整放线方向，尽量避干扰大的方向，使测试仪读数减少跳动。测试夹与接地测量点接触电阻过大。解决措施：将接触点用锉或砂纸磨光，用测试线夹子充分夹好磨光触点。(地网)周边土壤构成不一致，性能试验地质不一，紧密、干湿程度不一样，具有分散性，地表面杂散电流、特别是架空地线、地下水管、电缆外皮等等，对测试影响特别大。