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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

双串口高速透明传输不丢帧WM622拥有两路全透明传输串口，用户可将自己产品的串口资源快速拓展成无线连接，相当于建立了一段无形的串行传输线，串口速率可高达1Mbps。透明传输的优势在于，用户可以在这基础上，创建自己需要的协议格式，使用户不局限于固定使用第三方协议。优越的通信距离和穿墙能力模块针对复杂的工业环境设计，天线的匹配设计均经过严格的测试验证，信号质量得到的优化，有效加强信号的强度及穿透力，多重保障让联网设备信号无阻， 体验信号满格。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一般的测定方法有以下几种：红外光度法：试样中的碳、硫经过富氧条件下的高温加热，氧化为二氧化碳、气体。该气体经后进入相应的吸收池，对相应的红外辐射进行吸收，由探测器转发为信号，经计算机输出结果。此方法具有准确、快速、灵敏度高的特点，高低碳硫含量均使用，采用此方法的红外碳硫分析仪，自动化程度较高，价格也比较高，适用于分析精度要求较高的场合。容量法：常用的有测碳为气体容量法和非水滴定法，测硫为碘量法、酸碱滴定法。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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涂镀层测厚仪的测量方法的测量方法主要分为以下几种：磁性测厚法：适用导磁材料上的非导磁层厚度测量。导磁材料一般为：钢\铁\银\镍。此种方法测量精度高；涡流测厚法：适用导电金属上的非导电层厚度测量。此种方法较磁性测厚法精度低；超声波测厚法：目前国内还没有用此种方法测量涂镀层厚度的，国外个别厂家有这样的仪器，适用多层涂镀层厚度的测量或则是以上两种方法都无法测量的场合。但一般价格昂贵\测量精度也不高；电解测厚法：此方法有别于以上三种，不属于无损检测，需要破坏涂镀层。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验池州-审厂 对传统污染物的监测对传统污染物的监测主要是针对日常水体中常见污染物的重点监测。根据 的相关要求及其本站的实际监测条件，对水体中主要污染物的监测包括了重金属元素（铜、锌、砷、汞、镉、铬等）、营养元素（氮、磷、钾等）、特殊元素（硒、氯、硫等）。通过如上监测对水体的日常污染状况进行把握与评价。同时，传统污染物的监测还包括了对特定企业排污点的污水监测，作为其环保达标的重要依据。对水体中的有机物在传统的污染物的基础之上工业以及农业淋容等多方面因素会对水体中造成一定的有机物污染，在针对有机物的污染监测过程中传统的监测方法无法在精度与效率方面达到要求。