仪器外校徐州-CNAS检测机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

RaytekMMMT测温仪巧妙避免火焰测温过程中可能会产生的测量偏差,限度节省成本并提高生产效率。(金属退火与淬火应用)结构钢和金属形状被出来以后,金属的特定部分需要进行退火或回火。,钢的两端必须经过退火以防止在施工现场一个钢与另一个连接时发生损坏。另一个例子是摩托车的启动踏板,启动踏板的中心位置需要经过回火,以承受当有人试图启动摩托车时产生的过矩。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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世界半导体工业界预测,这种进步至少仍将持续10到15年。面对现有的晶体管模式及技术已经临近极限,借助芯片设计人员巨大的创造才能,使一个个看似不可逾越的难关化险为夷,硅晶体管继续着小型化的步伐。近期美国科学家的科技成果显示,将10纳米长的图案压印在硅片上的时间为四百万分之一秒,把硅片上晶体管的密度提高了100倍,同时也大大提高了线生产的速度。这一成果将使电子产品继续微小化,使摩尔定律继续适用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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尤其是在以下两种情况下,非常不建议采用两线制测试:测试导线过长,R1R2偏大,有时甚至会高出被测电阻,两线制测试极易导致结果错误;被测电阻Rb为低阻值时,馈线电阻的影响会比平时更大,也容易造成读数误差较大。蓄电池的内阻很小,2V电芯的典型内阻为.3mΩ,所以对于此类阻值的测量,需要采用更的测试方法。四线制测试原理四线制测试法即为尔文测试法。如下图所示,尔文连接有两个要求:对于每个测试点都有一条激励线和一条检测线,二者严格分,各自构成独立回路:激励回路用于测定流过Rb的电流I1,检测回路用于测定Rb两端的电压V34,因电压表的内部阻抗远远大于检测回路的馈线电阻R3和R4,因此流经电压表的电流I2几乎为零,所量到的电压V34也几乎是Rb本身的压降。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校徐州-CNAS检测机构20世纪70年代,激光器和光纤技术相继有了重大突破,使得光纤通信的应用变成可能。美国贝尔研究所发明了低损耗光纤法(CVD法,汽相沉积法),使光纤损耗降低到1dB/km;1977年,贝尔研究所和日本电报电话公司几乎同时研制成功寿命达100万小时的半导体激光器,从而有了真正实用的激光器。1977年,世界上条光纤通信系统在美国芝加市投入商用,速率为45Mbit/s。光纤通信的引入让传输的容量得到几何级的增长,带动了通信产业应用的快速发展。

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