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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

抖动引起的满量程信噪比由以下公式得出举个例子，频率为1Ghz，抖动为100FS均方根值时，信噪比为64dB。在时域中查看时，x轴方向的编码边沿变化会导致y轴误差，幅度取决于边沿的上升时间。孔径抖动会在ADC输出产生误差，如所示。抖动可能产生于内部的AD外部的采样时钟或接口电路。.孔径抖动和采样时钟抖动的影响显示抖动对信噪比的影响。图中显示了5条线，分别代表不同的抖动值。x轴是满量程模拟输入频率，y轴是由抖动引起的信噪比，有别于ADC总信噪比。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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混搭模块-三种不确定度可选3个系列的压力测量模块三种级别的不确定度，混搭模块可以灵活实现各种不确定度要求：极宽的压力测量范围从-1kPa到1MPa，有超过8种压力测量模块可选。秒之内到达1psi灵活扩展，易于维护控制模块和测量模块相互独立，只需将模块拔下，一个新模块，按需更改供气压力，即可轻松更改量程，用户可在几分钟内完成更换。带有防污染系统在实验室校准被检压力装置时有可能受到污染，CPS防污系统防止可能的污染物从被检设备中回流到校准器中。、345G通信频段中，也有其他发射机信号存在，成为通信无线电系统的干扰源。包含了2.4GHzISM（工业、科学、医学）；蓝牙/WLAN；WiMAX/WiFi；RFID/ZigBee；基于315MHz、433MHz、868MHz、915MHz、2.4GHz的无线模块等无线电设备；战术通信 ，北斗 系统；数字集群无线通信（TETRA）等。需要使用SAFSpectrumCompact频谱仪确认 无线道的可用性和状态。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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小米电视3的主机+屏幕的设计方法，能解决小米链的产能瓶 战极限性价比。这是小米10月的重头戏，也是目前小米针对家庭/个人的消费级价的电子产品。看得小编心痒痒，怎奈“口袋没粮，心里发慌”，咽咽口水，还是算了。“采用超前的分体式设计，60寸LG真4K屏，标配独立电视音响”作为工业产品营销的小编，“超前的分体式设计”吸引了我的注意，刚好烧录器的市场经理James在，我来问问他。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准三亚-认证中心瞬态响应是电源在负载的巨大变化中恢复正常的速度。，对于E36312A来说，当电流从50%变到 时，其恢复到15mV的瞬态响应时间是50us。通道1的电流是5A，50%就是2.5A。“直流电流瞬态响应：瞬态响应是什么？如何测量？为什么它如此重要？”图3：上方显示的是电流从50%升至 ，然后又返回50%所发生的电流曲线变化。响应电压如下方所示，其中包括小的瞬态变化。图4：图中的输出电压显示了较小的电压瞬态变化。