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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

所述恒压供水系统包括水箱、水泵和稳压罐，所述水泵的个数为2，所述水箱通过手动球阀分别连接至所述两个水泵，所述两水泵分别连接两个止回阀后与所述稳压罐相连。所述两水泵的型号具体根据所需要测量的流量而定。本发明的有益效果在于：1）在超声波水表检定标准装置中采用文丘里喷嘴和电磁阀组成的多档位定点流量调节装置替代传统的手动或自动阀门来定量控制检定标准装置和超声波水表中的流量大小。所述文丘里喷嘴的不同口径对应于不同的流量，在压力稳定的情况下能够起到固定流量作用，而电磁阀可以控制水流通断。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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目前在测量仪器方面基本所有仪器界面所显示内容都是固定不可更改，即使大部分内容并不是客户所关心的，造成视觉混乱以及空间的“浪费”。为了解决这一问题，致远功率分析仪是如何 变身的呢-用户自定义界面，欲知后事如何，请看下节。功率分析仪在数值显示上有三种可选界面显示方式，所有项目、X（124）项目、用户自定义。所有项目在所有项目下，通过翻页可以查看所有的测试项内容，但每页所显示内容均不可更改，如下：PA8所有项目界面X项目该界面显示有6项目、12项目、24项目，该显示方式表示每页显示的测量项有x项，并且用户可以更改测试项内容，默认情况下每页显示不同单元的相同测试项，下图是24项目界面：项目界面以上两种显示界面都没能解决文章所提问题，别急。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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ZigBee技术被认为是 有可能像WiF蓝牙一样改变我们现在生活的通信技术之ZigBee是让一些设备特别是传感器接入互联网的技术。在家庭自动化控制和工业遥测遥控领域，对无线数据通信的需求越来越强烈,且这种无线数据传输必需是高可靠的，并能抵抗现场的各种电磁干扰。Zigbee的特点就在于功耗更低，实时在线、同一个网关接入数量巨大并且可以自组网,在物联网的发展中具有广阔的应用空间。Zigbee技术Zigbee一词源自蜜蜂群在发现花粉位置时，通过跳ZigZag形舞蹈来告知同伴，达到信息的目的。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室广州-审厂上面句话一说出来，很多人就认识到问题出在哪了。相信没有哪一个实验是使用同一个东西来验证自己的正确性。校准件的厂商通常专门的校验件，以便用户进行验证校准结果的正确性。若没有校验件，建议使用另外一套校准件或者自己保留一个已知特性的适配器/转接器/衰减器进行验证。不要用手拧校准件力矩扳手是校准件的标配，通常手册中也会介绍力矩扳手的使用方法。力矩扳手也是“定标”过的产品，能保证校准件与仪器/电缆接触面到达“恰到好处”的接触。