计量器具校准马鞍山-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

其中半导体器件(包括：半导体分立器件、集成电路等)大多数是辐射敏感器件，辐射环境对这些器件的性能会产生不同程度的影响，甚至使其失效。针对各种辐射效应，在器件的材料、电路设计、结构设计、工艺及封装等各个环节采取加固措施，使其具有一定的抗辐射性能。选择抗辐射加固的器件应用在空间辐射环境中，将能提高航天器的可靠性和使用寿命;应用在战略武器中，将能提高其效能和突防能力。空间辐射环境对电子器件主要产生电离辐射总剂量(TID)效应和单粒子效应(SEE);核辐射环境尤其是核环境，主要产生瞬时电离辐射总剂量效应、中子辐射效应和电磁脉冲损伤效应。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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点测温与区域测温测量一个区域内的温度，而非逐个点、逐个点的进行测温，可以帮助研究人员和工程师对其正在测试的系统出更好的知情决策。由于热电偶和热敏电阻都需要通过接触才能进行测温，因此它们只能一次一个位置的温度数据。而且，小的测试目标一次只能少数热电偶。贴在其上，实际上热电偶会散热，而可能改变温度读数。传统热电偶的热图像非接触式的测温可能采用点温仪（也称为红外测温仪），但如同热电偶一样，点温仪只能测量单点的温度。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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对而言，对于语音互操作，由于LTE和CDMA电路域没有互操作关系，语音方案初期可考虑SVLTE(单卡双待机)方式，终端支持语音和数据并发，未来考虑适时引入VoLTE方式承接语音业务。对于数据业务，HRPD现网可升级至eHRPD，采用非优化切换方式保证LTE与eHRPD数据业务连续。面对即将到来的LTE商用普及，为保证 的用户体验，运营商的LTE测试一方面需要加强模拟各类终端业务在不同场景下的边缘切换，使实际网络中的多模终端尽可能地驻留在LTE网络。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准马鞍山-计量公司对互联网带来的资源消耗需求是“疏”而不是“堵”，解决的思路之一是在空口对业务加以识别和支持。这样的需求对监测仪表的发展提出了新的要求，要求空口测试仪表能识别、分析业务，并与底层信令和物理层过程进行关联分析，以共同应对互联网的挑战。第二，从测试方式来看，测试数据采集技术自动化程度还不够高，仍有大量的数据采集通过人力来完成，工作效率有较大提升空间。数据自动化分析水平、智能分析功能及管理能力各地区发展参差不齐，东部沿海发达省份水平较高，中西部区域则有待提升。