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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

我们都知道，电子设备的可靠性及使用寿命与其模块中电子器件的温度、电压应力、电流应力及所处的环境温度有关。模块中关键电子器件工作的环境越恶劣，电子器件的工作温度越高可靠性与寿命就越低，一般器件的工作结温为15℃，工作结温的降额越充足，则器件的可靠性就越高。如下表2所示为该电源模块在常温25℃下，从低压19V到高压36V各关键电子器件的温度热成像图片，从图中可以看出该模块的关键器件表面温度不超过8℃，经过理论计算其内部结温不超过1℃，可保证模块的可靠性。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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DTF实际应用有哪些？，利用DTF可以检测线缆的质量好坏，电缆在生产过程中由于电缆长度、电缆类型、材质的差异或者其他因素的影响可能造成电缆某些部分存在凹坑或裂纹的现象，而这些问题很难通过眼睛去观察检验，但是利用DTF即可以快速的检测出线缆的缺陷之处。如下，我们使用鼎阳科技SVA1015X测试出的传输线缆中的故障点情况：SVA1015X在经过校准之后，使用前我们需要设置测量的基本参数以及要测量的数据类型包括：显示类型：包括回波损耗、电压驻波比、反射系数三者皆反映了整条线缆的匹配状况。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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CANScope信号质量分析参数如所示。为某地铁车辆上的CAN总线实际测试结果，通过信号质量的升序排列，可以看到发出帧ID为0308的这个节点，信号质量平均值只有47分， 差值甚至只有34分。CANScope信号质量解析示意图（左边为 差质量）而信号质量评价图的右边为信号质量的发出0263帧ID的节点，其 差质量也达到了70分。如所示:CANScope信号质量解析示意图（右边为质量）通过CANScope的波形筛选查看0308的波形，发现有很明显的反射“地”现象，并且有效幅值比较小。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器外校-校验价格示波器可通过各种各样的视图模式来观察波形，有YT、XY两大类别，YT模式又可以进一步细分为普通、大时基、滚动等模式，观察信号时，应选择哪一种模式才 合适，不同的模式之间又有什么关联。本文带您详细深入探讨，各个模式显示的方式，优点与缺点，帮您快速准确地找到合适的模式来观察信号。YT模式YT模式是示波器中 常见的，其坐标系Y轴为通道输入信号，上正下负，参考地为零点，X轴为时间，左负右正，触发点为零点。YT模式还可进一步细分为普通、大时基、滚动、Zoom、插值模式，下面一一详细介绍。