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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

LED作为第四代光源，具有节能、环保、安全、低功耗、高亮度等特点。在过去黄金1年的发展中，景观亮化、LCD背光、室外照明、户外大屏显示等应用在不同的时间段成为行业快速发展的驱动力。LED行业不断涌现的新应用会推动整个行业新一轮的发展。红外热像仪技术作为近年来备受关注的新兴检测技术，一直默默在幕后助力LED行业的发展。今天，小编将带您了解福禄克工业红外热像仪在LED的精彩应用。照明灯具表面发热检测LED灯罩表面温度分布决定了LED灯具内部散热状态，通过温度分布的检测可以发现LED灯具在正面散热设计中的缺陷，避免因温度过高而影响灯罩结构强度及散热性能。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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但也不排除由于浮子导向杆与止动环不同心，造成浮子卡死。时可将仪表拆下，将变形的止动器取下整形，并检查与导向杆是否同心，如不同心可进行校正，然后将浮子装好，手推浮子，感觉浮子上下通畅无阻卡即可，另外，在浮子流量计时一定要垂直或水平，不能倾斜，否则也容易引起卡表并给测量带来误差。测量误差大不符合要求;对于垂直浮子流量计要保持垂直，倾角不大于20度;对于水平浮子流量计要保持水平，倾角不大于20度;浮子流量计周围100mm空间不得有铁磁性物体;位置要远离阀门变径口、泵出口、工艺管线转弯口等。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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映射曲线因子：设置颜色与密度数字的映射关系。当设置值为1时，颜色会线性均匀分布于映射区间内；当设置为大于1时，颜色分辨率主要集中在较低的密度上；当设置值小于1时，颜色分辨率则主要分布在密度较高的值。自动调整映射范围：根据当前荧光频谱中的概率分布自动调整映射值和映射值，从而使荧光频谱图的颜色映射将所有概率值包含在内。本例进行如下设置来显示中所测试的通信信号：显示效果如所示。空间无线通信信号为满足不用应用领域的显示，颜色映射具有暖色、冷色、灰度和雷达四种映射方式，不同映射方式下的显示效果如所示。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正吉安-认证单位拉曼光谱技术在材料科学研究中的应用拉曼光谱在材料科学中是物质结构研究的有力工具，在相组成界面、晶界等课题中可以很多工作。包括：薄膜结构材料拉曼研究：拉曼光谱已成CVD（化学气相沉积法）薄膜的检测和鉴定手段。拉曼可以研究单、多、微和非晶硅结构以及硼化非晶硅、氢化非晶硅、金刚石、类金刚石等层状薄膜的结构。超晶格材料研究：可通过测量超晶格中的应变层的拉曼频移计算出应变层的应力，根据拉曼峰的对称性，知道晶格的完整性。