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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

直尺法更像是我们找另一半的时候匹配星座和血型。为什么这样讲呢？因为，这种星座血型是两个固定的数据，匹配起来非常简单，也非常迅速；而直尺法也是这样，在效率上非常高。但是毋庸置疑，这种匹配星座和血型的方法，真的不一定准……同样，直尺法在对中的性也相对较低。然后根据身高，年龄，工作地点，未来规划找另一半的方法，就与对中里的表分表分很相似。这种放大需要的数据很多，而且对比起来真的很麻烦，还有变动的可能，效率相对较低。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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机动车对环境的电磁干扰已被视作与噪声、排放同等重要的公害，涉及到环境保护、人身健康、行驶安全等。机动车整车及零部件工作环境通常很恶劣，始终处于一个充满电磁相互干扰的环境，为了避免互相干扰，车辆必须具有优良的电磁兼容性能，同时也必须一个具有能够模拟并复现车辆电磁兼容性环境的测试实验室，来验证车辆的电磁兼容性能。机动车电磁兼容性测试技术随着电子技术和信息技术的发展，电磁兼容试验从 初的室外良好的电磁环境下的试验，一直发展到室内全天候 机动车电磁兼容实验室。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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石英晶体的化学成分是二氧化硅，可以用振荡电路，是利用它的压电效应。当交变电压施加于石英晶片时，晶片将随交变电压的频率产生周期性的机械振动；同时，机械振动在晶片产生电荷而形成交变电流。一般来说，这种机械振动的振幅很小，而振动频率很稳定。但当外加信号源的频率与晶体的固有频率相等时，晶体便发生共振，此时晶体外电路的交变电流也，这个现象称为石英晶体的压电谐振。因为晶体振荡电路的频率稳定性很好，所以广泛应用于电子系统中，为其基准时钟。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正钦州-校验公司而使用ZLG的AWTK，能够实现十分酷炫的显示和操作效果，并且能够实现跨的发，让呆板的界面一去不返。AWTK显示界面产品往往需要对数据分析，如何将数据立体直观的显示出来？是界面设计的一大难点。AWTK内置很多不同显示形式的设计，包括仪表盘、饼图、曲线图、柱状图等。能够直接展现数据，告别人为分析、呆板设计。AWTK显示界面工业控制随着计算机以及控制技术的发展，传统的工业控制技术已经逐渐地被智能控制技术所替代，智能化工业控制系统的发展为工业领域的发展了 强的技术保证，是推动企业持续创新发展的有效途径。