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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

从而安全扩展功率或电流的输出能力，且并联后，依然保持单机优异的动态特性。用户可任意恒电压CV或恒电流CC工作模式，安全扩展输出能力，从而满足多种大功率高速测试下的需求。以下将会以瞬态响应拉载波形为例说明 定电压：10V，设定电流：120A动态负载：LevelA=10ALeve png8台IT6522C并机设定电压：10V，设定电流：960A动态负载：LevelA=100ALevelB=800AF=10Hz结论：从上面的测试图中可以看到，IT6500C系列电源在多台并机后，仍能保持和单机波形一样的动态响应波形，均达到高速无延迟的同步响应。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在这方面，罗德与施瓦茨充分发挥业界的技术实力，为RSQPS201设计了两面固态矩阵面板，内含数千个收发天线，构成一套高精度的双面测量系统。测量过程中，每个天线仅工作一瞬间，仪器在几十毫秒内完成全部的信号探测工作。由于RSQPS201的天线数量和规模远超业界同类产品，可以获得更高信噪比的信号，利于后续程序计算识别可疑物。图2毫米波收发矩阵示意图在信号和可疑物识别方面，RSQPS201使用业界的数据加速器，将海量的信号数据加速，使得仪器对信号具有极高的运算速度。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在该电源接入电网后，会对电网内其他的用电设备产生影响，导致电网内直流电源的输出纹波较高，无法正常测试。即使移除地线的连接，将交直流源各自分至很远的位置，并通过不同的空接入后，干扰依旧存在。某品牌电源对电网内直流源输出干扰波形而在相同的测试环境使用APM全天科技可编程交流电源后，直流源输出纯净稳定，无任何影响。APM全天科技可编程交流电源通过严苛的EMC测试等级，符合欧盟电磁兼容指 lassA以及FCCCFR47第15部分的要求。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备校验武汉-检测公司检测距离增大，大气组合的影响将会越来越大。这样一来要获得目标温度的准确性，测量时需要尽量选择环境大气比较干燥、洁净的时节进行检测;在不影响安全的条件下尽可能缩短检测距离，同时需要对温度测量结果进行合理的距离修正，以便测得实际的温度值气象条件的影响 的气象环境(雨、雪、雾及大风力等)，会对设备温度检测带来不利的影响，往往会给出虚的故障现象。为了减少气象条件的影响，尽量在无雨、无雾、无风和环境温度较稳定的夜晚进行检测。