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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在测试电子器件时，很难不提到示波器所具有的通用性。为了对电子电路进行验证，工程师需要能够查看和测量其设计中的信号。自动测试设备（ATE）通常不大量可视化故障诊断，这对于必须、校准并对系统进行故障诊断的用户来说是一大挑战。这些操作需要可视化工具，示波器便能这种工具。没有其他设备能比示波器更多种测量工具。为了在ATE环境中实现示波器功能，用户通常在数字化仪中使用SFP（软件前面板）示波器软件。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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海量应用磁传感器无所不在、尺寸小巧且价格合理，可以轻松地和其他电路一同集成到芯片上，磁传感器被人们广泛用于各种应用。(如需了解更多关于磁传感器的信息，敬请阅读白皮书)。磁传感技术在机器人和工厂自动化中的优势尤其明显。由于磁传感器在零件位置和速度检测方 有更高的可靠性和精密度，它对运动控制而言至关重要。这一优势也让机器手臂和其它部件能够平稳而准确地，从而确保高质量和高安全性的过程。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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无论是在机械、设备，还是在汽车电子、通信技术产业中，我们都可以看见传感器在其中发挥重要作用。随着传感器的发展，很多行业也在积极发利用传感器，很多新型的传感器都在广泛地被放利用。地铁成为人类利用地下空间的一种有效形式，充分缓解了城市的地面交通，以其运量大、准时性好、快速安全、交通效率高、利于环保等优点，成为现代城市地下空间建设的重点。但地铁在运营过程中，环境控制(简称环控)系统的用电量占了相当的比重，特别是带有空调的环控系统的用电量约占整个地铁耗电量的4%左右。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备校验贺州-检测单位发射器信号在短时间内频率呈线性增加，被称为线性调频(见)。线性调频以所需的模式重复。展示了雷达收发机。返回信号的频率在接收器(Rx)和发射频率的混合中生成不同的中频(intermediatefrequency，IF)。中频被数字化并用于确定和速度。芯片上的信号电路测量传输时间，并根据已知的无线电波速度计算距离。由于天线的高度方向性，可以检测到位置(方位角)。调频雷达也可以测量运动和速度。片上器负责计算，以的测量数据，灵活且可编程的传感器，用于多种独特应用。