仪器校正攀枝花-认证单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

本地可方便地重构上/下路波长，从而避免O/E/O的转换，节省相关费用。这也有助于减少时延，透明的比特率，有利于网络的规划、管理和维护。第2代ROADM多维度可重构架构2个维度以上互连的ROADM架构能够完成2个以上方向或自由度互连，可以满足组多个环网或者网状网的需求，核心器件是波长选择关（WSS）。WSS的特点是每个波长都可以被独立地。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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现在人们把这种光栅称为计量光栅，以示区别于其他的光栅。 近一些年，光栅式传感器在精密测量领域中的应用得到了迅速的发展。光栅式传感器有如下特点：?精度髙。光栅式传感器在大量程测量长度或直线位移方面仅仅低于激光干涉传感器。在圆分度和角位移测量方面，一般认为光栅式传感器是精度 髙的一种。?大量程测量兼有髙分辨力。感应同步器和磁栅式传感器也具有大量程测量的特点，但分辨力和精度都不如光栅式传感器。?可实现动态测量，易于实现测量及数据的自动化。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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RBW所代表的意义为两个不同频率信号所能够被清楚分辨出来的频宽差异，因此两个不同频率信号的频宽如果低于频谱分析仪的解析频宽，如此两信号将会重叠而无法分辨。如此看似更低的RBW将有助于不同频率信号的分辨与量测工作，然而过低的RBW有可能将较高频率的信号给滤除掉，因而导致信号显示时产生失真。较高的RBW当然有助于宽频信号的量测，然而却可能增加杂讯底层值（NoiseFloor）、降低量测灵敏度，并对于侦测低强度的信号容易产生阻碍。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器校正攀枝花-认证单位CAN或CANFD15Mb/s范围内的灵活数据速率，但仍限于相对低带宽的应用，FlexRay也是如此，它通过其并行数据线冗余优势，如果一条线路损坏，另一条线路可以接管其功能，它可用于安全或其他关键功能，如转向或制动控制。MOST是一种信息标准，数据速率可为250和150Mb/s，后者的总带宽高于100Mb/s的汽车以太网。但一个关键的区别是MOST的150Mb/s带宽是在环形拓扑网络享，而每个 的汽车以太网链路完整的100Mb/s带宽。