测试设备校正黄山-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

比如常见的PCIE，其单端阻抗就是要求是50Ω。这就是这个50Ω的由来，也是因为如此，示波器上才会有个50Ω阻抗档位。其作用就是用来匹配50Ω系统中的传输线。示波器的负载效应有朋友可能会有疑惑，按上面的论述，岂不是50Ω的匹配比1MΩ的匹配要好，那还要1MΩ阻抗干什么呢？这就涉及到了示波器的负载效应问题了。相信大家都有这种经历，调试一个有问题的电路，想看看波形，结果接上探头电路就正常了，拿探头电路就又出问题。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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粒子加速装置中电磁场是利用低电压，高电流的直流电源驱动电磁线圈产生的。应用于粒子加速器中的电源需要具有高输出功率的同时，要具有极高的 度和稳定性。AMETEKSorensenSG系列直流电源输出功率覆盖4kW-15kW，电压1-1V,电流5-6A，多个型号满足不同电压电流的需求，输出 ，稳定度高达±.5%，并且SG系列直流电源具有多种通信接口，易于程控以实现变化的直流波形，波形和斜率均可设置，易于集成在大型系统内。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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X射线光谱分析仪的好坏常常是以X射线强度测量的理论统计误差来表示的，BX系列波长色散X射线荧光仪的稳定性和再现性，已足以保证待测样品分析测量的精度，被分析样品的制样技术成为影响分析准确度的至关重要的因素，在样品方面所花的工夫将会反映在分析结果的质量上。X射线荧光仪器分析误差的来源主要有以下几个方面：1.采样误差：非均质材料样品的代表性2.样品的：制样技术的稳定性产生均匀样品的技术3.不适当的标样：待测样品是否在标样的组成范围内标样元素测定值的准确度标样与样品的稳定性4.仪器误差：计数的统计误差样品的位置灵敏度和漂移重现性5.不适当的定量数学模型：不正确的算法元素间的干扰效应未经校正颗粒效应纯物质的荧光强度随颗粒的减小而增大，在多元素体系中，已经证明一些元素的强度与吸收和增应有关，这些效应可以引起某些元素的强度增加和另一些元素的强度减小。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正黄山-审厂 检测仪作为预防泄漏 常用的检测仪器，在工业上的应用十分广泛，主要为工业危害应急所用。那么，检测仪能实现哪些危险环境下的检测要求泄漏检测：设备管道现场所泄漏检测报，设备管道运行检漏，防止泄漏，避免工作人员中。施工检修检测：设备检修置换后检测是否残留有有害，特别是批量堆放检测更为重要。现场应急检测：生产现场出现异常情况或者事故时，比如罐倾倒造成泄漏，为了安全要对有害浓度进行检测。