测试仪表校验马鞍山-CNAS检测机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

此测试中，将中心频率CenterFreq设定为1.5GHz,扫宽Span设定为1000MHz.具体测试结果如下图所示。根据测试结果和我们归一化是的测试图比较，就能很好的看到滤波器的形状特性以及插入损耗。图五： 终测试效果图五其中，根据波形分析对滤波器特性的要求,我们可以应用几个Mark点测试此滤波器各个点的特性。分析MARK2点与0dBm（归一化后的参考电平）之间的差值是滤波器的插损，MARK1幅度为-3dB处的带宽。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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分类胎压监测按照测量的方式可以分为间接式胎压监测(WSB)和直接式胎压监测(PSB)。而按照传感器位置，我们又可以分为内置式胎压监测和外置式胎压监测。直接式和间接式胎压监测系统直接式胎压监测装置是利用在每一个轮胎里的压力传感器来直接测量轮胎的气压，利用无线发射器将压力信息从轮胎内部发送到接收器模块上的系统，然后对各轮胎气压数据进行显示。当轮胎气压太低或漏气时，系统会自动报。间接式胎压监测的工作原理是当某轮胎的气压降低时，车辆的重量会使该轮的滚动半径变小，导致其转速比其他车轮快，然后通过比较轮胎之间的转速差别，以达到监测胎压的目的。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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另外，被测T/R组件置于屏蔽箱内，相当于一个罩，不但可以保证操作人员的安全，而且可以降低产线上不同测试系统之间的相互干扰。因测试的需要，屏蔽箱壳体上需要孔穿过电源、控制、射频电缆和液冷管等。为保证屏蔽性能，应尽量避免细长孔，也不能有直接穿过屏蔽箱的导体。增加端口驻波比告电路保证T/R组件的安全利用定向耦合器、检波器和模数转换电路等可以实现每个发射输出端口驻波比的实时监测。该电路的目的不是为了实现端口驻波比的 测试，只要监测到端口发生失配甚至路，则小目标实现。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校验马鞍山-CNAS检测机构然后通过“自动下一帧”菜单，选择要查看的波形帧数，可以选择从帧始，到 一帧介绍，然后设定每一帧的回放速度（从人眼的反应考虑，建议选择2ms/帧以上），点击始之后，界面中的波形会进行回放，当看到想要看的波形后按停止按键，然后通过“数据序号”来调整波形，确保看到自己想要的波形，如所示；第四步，找到了想要观察的波形帧之后，可以通过“FORM按键调整界面的窗口时间，对波形进行任意放大或缩小”并可以调出光标测量任意两点的横纵轴数据。