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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

人类为了从外界获得信息，必须借助于感觉器。但是人的感觉器并不是的，要想获得更为丰富的信息，进一步研究自然现象和劳动工具，人的感显得很是不够了。作为一种代替人的感的工具，传感器的历史比近代科学的出现还要古老。天平作为测重的工具在古埃及就始使用了，一直沿用到现在。利用液体膨胀特性的温度测量在十六世纪就已经出现。以电学的基本原理为基础的传感器是在近代电磁学发展的基础上产生的，但是随着真空管和半导体等有源元件的可靠性的提高，这种类型的传感器得到了飞速发展，现在谈到传感器大都指有号输出的装置。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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同样，这样的改变也体现在“协议解码”上，新的解码方式将人们从“0”，“1”的世界中解放出来，大大提高了工作效率。0/1的世界下面，我们具体看一下示波器发展中协议解码方式的变化。 初的协议解码 初的示波器只是一个简单的波形显示兼数据测量，而我们需要获取协议波形深层次的含义，则需要一段一段去分析。：观察IIC协议，一个时钟信号，一个数据信号，我们需要按照时钟与数据信号一位一位对应，去进行0/1的组合转换，将其“翻译”成我们需要形式，再去对应相应的物理量。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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方法要领：使用万用表的“Ω×1”挡检测通路电阻，必要时应将测试点刮，焊干净后再进行检测，以防止接触电阻过大，引起测量误差。对插接件检测时，可通过摆动插接件来测其接触电阻。若阻值大小不定，说明有接触 故障。使用万用表的“Ω×1k”或“Ω×10k”挡检测电容器电容值大小和漏电程度。使用万用表“Ω×1k”挡检测小功率晶体管，使用“Ω×100”挡检测中功率晶体管，使用“Ω×10”挡检测大功率管。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备校验惠州-认证公司结论是：一段高阻抗线可以等效为电感，一段低阻抗线等效为一个到地电容。（如果理解传输线的特征阻抗用微分形式的集总参数表示为sqrt（L/C），高阻L一定很大，低阻C一定很大，就可以比较形象的理解此等效原理。）高低阻抗线等效电路3.平面低通设计实列一个平面低通遵循下列设计步骤。1)规划高低阻抗线阻抗，高阻受限于线条能力和功率容量，一般小功率应用可以取到0.15mm，低阻宽度受到滤波器尺寸限制，受到长宽比限制。