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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

低功耗、高速度、高集成度的LSI电路是成众多电子产品的首要考虑，这也就导致装置比以往任何时候更容易受到电磁干扰的威胁。此外，大功率家电及公自动化设备的增多，以及通信、无线网络的广泛应用等，又大大增加了电磁骚扰源。这些变化迫使人们把电磁兼容作为重要的技术问题加以关注。电磁兼容采用一定的技术手段，使同一电磁环境中的各种电子、电气设备都能正常工作，并且不干扰其他设备的正常工作，这就是电磁兼容（ElectromagneticCompatibility，缩写为EMC)。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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对比试块应每5年检定一次。超声波探伤稳定性的实现，探伤方法探伤方法是保证探伤结果准确的前提。因此应根据工件的形状、缺陷特点、材料性质及探伤要求，准确无误地进行探伤。耦合剂的影响耦合是实现声能传递的必由途径，耦合剂是探头声源与工件这两种固体之间实现声能传递、保证软接触所必需的传声介质，它在二者界面上具有排除空气，填充不平的凹坑和间隙，并兼有防磨损，方便的功能。耦合损耗与耦合层厚度d及耦合层中超声波波长λ有关。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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检查称重传感电桥的各焊点是否有虚焊、焊现象，造成称重传感电桥不工作。检查称重传感器本身，看上面是否有异物或粘附脏物，阻碍了传感器产生性形变，致使有载荷作用加在传感器上时，性体不能正常产生性形变，使电阻应变片的电阻不发生变化，导致称重传感电桥没有称重信号输出。无称重载荷作用在电子计价秤上时，称重的显示值不为零，而且显示的数值不稳定，数值不停的在变化。此故障俗称显示有零漂、不归零和跳字，产生此故障的原因是：称重传感电桥的某一桥臂有虚接、焊现象，或者是某焊点有“接地”现象；检查电源电压是否稳定，如果电源电压的稳定性不好，也容易跳字。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室宿迁-校准公司它带有红外测温探头，维护人员只需俯下身，表笔探针就能接触到蓄电池的负极柱，、安全测量它的温度，在屏幕界面中直接看到结果，让那些老旧电池无所遁形。福禄克的蓄电池分析仪配有标准的BTL1测试笔和2套不同长度的长表笔。别小看小小的测试表笔头，它可大有学问，集成了液晶显示器、语音反馈、三色指示灯和远程保存键，不管电池柜大小如何，只要按需更换测试表笔头，就能应对多种测试环境，在空间狭小的电池柜中同样也能应付自如。