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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

波形累积二参数测量仅仅通过波形的直观表现分析异常信号，需要工程师对于波形特性有一定的了解，ZDL6示波 标配55种自动测量参数，可在采集的同时，将各项指标 量化，通过测量参数列表的实时统计显示，迅速发现异常数据。并通过历史统计功能，到异常信号产生瞬间。自动测量观察异常数据历史统计异常数据三GO-NOGO条件判断通过波形累积或者参数测量，需要工程师肉眼观察分析波形后的数据，而历史记录也有数量上限。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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X射线光谱分析仪的好坏常常是以X射线强度测量的理论统计误差来表示的，BX系列波长色散X射线荧光仪的稳定性和再现性，已足以保证待测样品分析测量的精度，被分析样品的制样技术成为影响分析准确度的至关重要的因素，在样品方面所花的工夫将会反映在分析结果的质量上。X射线荧光仪器分析误差的来源主要有以下几个方面：1.采样误差：非均质材料样品的代表性2.样品的：制样技术的稳定性产生均匀样品的技术3.不适当的标样：待测样品是否在标样的组成范围内标样元素测定值的准确度标样与样品的稳定性4.仪器误差：计数的统计误差样品的位置灵敏度和漂移重现性5.不适当的定量数学模型：不正确的算法元素间的干扰效应未经校正颗粒效应纯物质的荧光强度随颗粒的减小而增大，在多元素体系中，已经证明一些元素的强度与吸收和增应有关，这些效应可以引起某些元素的强度增加和另一些元素的强度减小。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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然而，燃油和软性粘结剂（性体）间的互动是实现测量和长期稳定性的一个瓶颈，在当下 使用的燃油、混合剂和添加剂日趋复杂和多样化的大背景下更为凸显。先进压力传感技术确保可靠和测量TDK集团创新的油箱压力传感器采用独特设计：所有和燃油直接接触的塑料和性体都使用超耐久的玻璃基材料替代，与所有材料的热膨胀系数都是相互匹配的。和性体不同，这种材料不会膨胀、收缩或变脆，可消除因信号漂移或泄露导致的不压力测量。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备校验无锡-校验价格各种毫米波的器件、芯片以及应用都在如火如荼的发着。相对于微波频段，毫米波有其自身的特点。首先，毫米波具有更短的工作波长，可以有效减小器件及系统的尺寸;其次，毫米波有着丰富的频谱资源，可以胜任未来超高速通信的需求。此外，由于波长短，毫米波用在雷达、成像等方面有着更高的分辨率。到目前为止，人们对毫米波已展了大量的研究，各种毫米波系统已得到广泛的应用。随着第5代通信、汽车自动驾驶、安检等民用技术的快速发展，毫米波将被广泛应用于人们日常生活的方方面面。