仪器计量长沙-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

由于电网有一定的阻抗，电网的阻抗包括，变压器的阻抗Z0，线路的阻抗Z1和Z2，总的阻抗就Z=(Z0+Z1+Z2)。当设备1向电网注入谐波电流时(记为In)，则在电网的阻抗Z上产生了谐波电压(记为Un)，于是设备2的电源输入端就出现了谐波电压Un。如果谐波电压超过了设备2能够承受的程度，设备2就会受到这个谐波电压的干扰。一般电子设备允许的谐波畸变率为UTHD5%。在现实中，设备1往往是中频炉、变频器、直流电机驱动器等工作电流发生剧烈变化的设备，设备2往往是PL数控机床、计算机、精密测量仪器等设备。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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系统总规划底层部分配置图1.功能介绍：系统的底层部分(指现场控制器以下)由现场控制器，照明终端主控制器(Coord)，照明终端控制器(Router/RFD)构成。照明终端主控制器接收现场控制器通过GPRS模块发送过来的控制器信号后通过Zigbee网络采用透明传输的方式发送命令到照明终端控制器(节点)，对其进行控制操作或读取其状态。主控器(Coord)将现场采集(或巡检)的路灯状态信息通过GPRS模块发送到现场控制器。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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E65的频率带宽为42.5-69Hz，覆盖了5Hz和6Hz的工频电网。不同 对ABCN相序的颜色定义也不一样。E65支持各相序自定义颜色，满足 的需求。同时不同 和地区，对与电能质量的算法不完全一致，不同用户针对选用的计算方法也不一致，但是E65电能质量分析仪支持谐波含有率计算方法（BFunRMS）、THD计算、功率计算方法（Classical、IEEDIN411）、PF计算方法(IEIEEE)、KF标准(US、EU)。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量长沙-计量公司全天科技大功率直流电子负载具有恒电流、恒电压、恒功率、恒电阻、恒阻抗、动态电流、动态电阻、扫频功能和List工作模式，可回读出电压、电流和功率参数，具有短路测试功能，具有过电流、过功率、过电压、过温度保护功能和反接告功能，可通过外部输出接口检测当前电子负载的电压和电流( SB的通讯接口及选配LANGPIB的通讯接口，还具有多台电子负载并机操作的接口。