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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

热电动势(也称为热偏移)的这一参数指标的重要性在许多电阻模块可能常常被忽略。这里我们带大家认识一下热电动势以及其重要意义。热电动势可以在任何有不同金属或者不同温度的地方产生。这个包括但不局限于继电器。在有源模块中，冷却系统会导致PCB有一个温度剖面，因此产生的热电动势是不可避免的。强制性空气冷却液容易造成继电器顶部和底部（PCB旁）之间的温差，从而产生更复杂的温度分布，如果温度分布和金属变化有关，则会出现热电动势电压。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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模式调谐器位于干扰室的右侧，干扰室的左侧有一个CAN总线光纤发送器，放置于泡沫上，该的相对介电常数<1.4且位于混响室的可用空间中。光纤发送器将ECU的输出信号转化为光后进入免受射频干扰的光纤并通过波导从接近地板位置离开混响室。用于测试的ECU，以及发送和接收天线也位于混响室内部，在本图中没有显示出来。配有模式调谐器和光纤发送器的混响室。天线和ECU没有在图中显示，但也是存在的。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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常规的SPI接口总线是双数据线全双工的同步通讯总线，在芯片的管脚上占用四根线。这里将介绍一种半双工的，单数据线，且编程器作为从机的通讯协议，这次的通讯时钟比较高，达到了10MHz。标准的SPI通讯协议SPI是串行外设接口(SerialPeripheralInterface)的缩写，是一种高速，全双工，同步的通讯协议。SPI通常需要四根线，它们是MOSI(数据输出)、MISO(数据输入)、SCLK(时钟)、SS(片选)。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验株洲-计量公司对于极性大、脂溶性差物质,在YWGCl8柱上不易保留,用十二烷基磺酸钠作为离子对试剂,降低其极性,延长柱上的保留时间,取得较好的分离较果。将液相色谱和质谱这两个强有力的分析技术在线连接在一起,经过三十年的发展已成为一项较为成熟的分析手段,但是它从形成伊始就存在着问题:从液相色谱流进质谱时,流动相的变化、溶剂的组成、高温高压离子化的问题制约着这种联用技术发展,大气压离子化接口具有去除溶剂和离子化的双重功效,它的引入,使得该技术在各个领域得到了广泛的应用。