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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

映射曲线因子：设置颜色与密度数字的映射关系。当设置值为1时，颜色会线性均匀分布于映射区间内；当设置为大于1时，颜色分辨率主要集中在较低的密度上；当设置值小于1时，颜色分辨率则主要分布在密度较高的值。自动调整映射范围：根据当前荧光频谱中的概率分布自动调整映射值和映射值，从而使荧光频谱图的颜色映射将所有概率值包含在内。本例进行如下设置来显示中所测试的通信信号：显示效果如所示。空间无线通信信号为满足不用应用领域的显示，颜色映射具有暖色、冷色、灰度和雷达四种映射方式，不同映射方式下的显示效果如所示。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在玻璃尺或玻璃盘上类似于刻线标尺或度盘那样，进行长刻线（一般为1?12mm）的密集刻划，得到如下图所示的黑白相间间隔细小的条纹，没有刻划的白的地方透光，刻划的发黑处不透光，这就是光栅。栅线放大图实际上，光栅很早就被人们发现了，但应用于技术领域只有一百多年的历史。早期，人们利用光栅的衍射效应进行光谱分析和光波波长的测定。到了2世纪5年代，人们始利用光栅的莫尔条纹现象进行精密测量，从而出现了光栅式传感器。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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汽车检测诊断技术飞速发展，传统的检测方法已不能满足现代汽车检测需要，其它领域新技术的发展，渗透也促进了汽车检测设备与手段的发展更新。人们能依靠各种先进的仪器设备，对汽车进行不解体检测，进行综合检测诊断，而且具有自动控制检测过程，自动采集检测数据等功能，使检测诊断过程更安全、更快捷、更准确。汽车综合性能检测就是在汽车使用、维护和修理中对汽车的技术状况进行测试和检验的一门技术。智能交通系统（ITS）在我国得到了广泛应用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室广元-检测公司激光切割在零件中的应用扇形叶型板型孔激光精密首先，扇型块是发动机的典型结构件，由内到外分别由流道叶型板、大弯边叶型板、叶片、T型叶型板和上叶型板经高温真空钎焊而成。扇形块焊接组合件示意如所示。扇形块焊接组合件叶片为轧制件，轮廓精度为.5mm，前、后缘R.12mm。为满足钎焊对叶片与叶型板上的叶型孔装配间隙.5～.1mm的要求和各型孔φ.8mm位置度要求，流道叶型板、大弯边叶型板和上叶型板的叶型孔允许采用激光切割，重熔层厚度≤.3mm。