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世通仪器关于高温微
压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。
其中半导体器件(包括:半导体分立器件、集成电路等)大多数是辐射敏感器件,辐射环境对这些器件的性能会产生不同程度的影响,甚至使其失效。针对各种辐射效应,在器件的材料、电路设计、结构设计、工艺及封装等各个环节采取加固措施,使其具有一定的抗辐射性能。选择抗辐射加固的器件应用在空间辐射环境中,将能提高航天器的可靠性和使用寿命;应用在战略武器中,将能提高其效能和突防能力。空间辐射环境对电子器件主要产生电离辐射总剂量(TID)效应和单粒子效应(SEE);核辐射环境尤其是核环境,主要产生瞬时电离辐射总剂量效应、中子辐射效应和电磁脉冲损伤效应。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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丰富测试功能助您毫米波信号测量。4051系列信号/
频谱分析仪频率覆盖范围内的频谱分析、功率测量组件、IQ分析、相位噪声测试、瞬态分析、脉冲信号分析等多种测试功能选择;具有良好的扩展能力,可通过灵活配置选件进一步提升测试性能,也可通过各种数字和模拟信号输出接口构建测试系统或进行二次发。-1相位噪声测试-2瞬态分析-3脉冲信号分析外部频率扩展可实现325GHz毫米波信号测量。67GHz还不够您使用?还有外部频率扩展功能。
为了在地面实验室模拟
传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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传感器技术是实现测试与自动控制的重要环节。在测试系统中,被作为一次仪表,其主要特征是能准确传递和检测出某一形态的信息,并将其转换成另一形态的信息。具体地说传感器是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能,并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置。如果没有传感器对被测的原始信息进行准确可靠的捕获和转换,一切准确的测试与控制都将无法实现,即使 现代化的电子计算机,没有准确的信息(或转换可靠的数据),不失真的输入,也将无法充分发挥其应有的作用。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。
热工实验室永州-计量单位瞬态响应是
电源在负载的巨大变化中恢复正常的速度。,对于E36312A来说,当电流从50%变到 时,其恢复到15mV的瞬态响应时间是50us。通道1的电流是5A,50%就是2.5A。“直流电流瞬态响应:瞬态响应是什么?如何测量?为什么它如此重要?”图3:上方显示的是电流从50%升至 ,然后又返回50%所发生的电流曲线变化。响应电压如下方所示,其中包括小的瞬态变化。图4:图中的输出电压显示了较小的电压瞬态变化。