仪器检测陕西-校准公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

二电源的高可靠性和稳定性及转换效率，艾德克斯电子具有广泛的电源及负载产品线及测试系统产品，在产品稳定性及可靠性方面有着明显优势。三电源应具有较高的输出精度，IT6500系列电压精度达0.05%+30mV，可以轻松满足测试系统的精度要求。四电源应具有双象限特性，能够吸收电机反馈的电能。IT6500C直流电源搭载功率耗散器具有双象限无缝切换功能，有效避免电压或电流过冲。五满足标准中对电机及其控制器试验中对电源的要求，应符合车辆用电池的电压电流特性，电源输出阻抗应与电池阻抗尽可能相等。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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目前虚拟数字示波器发展迅速，它便携、小巧更加方便用户使用，带宽可选择及其高性能的指标能满足不同用户的需求，成为 有前途的产品。MSO混合信号示波器和FPGA内置的逻辑分析技术正在抢占传统逻辑分析仪的市场。电磁参量分析与记录装置正朝着更加简单易用、多功能、小型化方向发展，国内市场稳中有升，出口不断增加。电能质量分析随着国民经济和电力工业的飞速发展，用电负荷日趋复杂化和多样化，具有非线性、冲击性、不平衡特征负荷设备的广泛应用，导致电网的波形产生严重畸变，使得谐波、电压波动闪变、频率波动、三相不平衡、暂时过电压和瞬态过电压、电压凹陷与短时间间断等现象频发。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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其次需要关注测量仪器的 性如何，在不同量程范围时测量仪器的准确性是不同的，主要原因跟一定温度范围内传感器（热敏电阻器）的精度相关。温度分辨率即具体在数显屏上显示时候的分辨率，如.1℃，在一定量程范围内，测温仪的分辨率越小，测得温度越。看外观这些测温仪是否像他们保证的那样？用于食品的测量技术必须符合当前的标准和指令（HACCP，EN13485）。要对测量仪进行适当的防潮保护。IP65到底代表什么呢？IP是IngressProtection的缩写,IP是用来认定防护等级的代号,IP等级由两个数字所组成，个数字表示防尘；第二个数字表示防水，数字越大表示其防护等级越佳。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器检测陕西-校准公司测试了一路200MHz载波的线性调频脉冲信号，脉冲周期5us，脉宽1us，带宽50MHz，同时给出了时域波形、包络及频谱测试结果。测试过程中，还可以灵活调整Span和RBW以便观测包络谱或者线状谱，从而对信号进行更加细致的分析。多通道频谱分析示波器具有多个模拟通道，每个通道均可以SpectrumView功能，因此支持多通道频谱测试。在复杂调试过程中，可以实现对多点的波形和频谱监测。类似于MSO64的多通道时域波形显示方式，所的频谱既可以“堆栈(Stacked)”显示，也可以“重叠(Overlay)”显示。