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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电机测试台架能够模拟各种工况，在不同工况下测量的震动状态更加。震动传感器负责采集震动数据，上位机软件负载数据且以报表、曲线的形式展现出来图1测震测量系统框图震动传感器的选择震动传感器是将被测震体的震动参数转换成适当的电参数，目前广泛采用的震动传感器是加速度型传感器。按照震动传感器的原理有以下几种：磁电式传感器、压电式传感器、电阻式传感器、电容式传感器。按照传输方式又可分为;有线、无线，无线传感器具有的优势是便于、避免测量信号衰弱。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
轻工实验室郑州-校准公 年伺服市场规模伺服系统是以变频技术为基础发展起来的产品，是一种以机械位置或角度作为控制对象的自动控制系统。伺服系统除了可以进行速度与转矩控制外，还可以进行、快速、稳定的位置控制。伺服系统工作方式目前应用 为广泛的电气伺服系统，通常伺服系统包括伺服驱动器和伺服电机，以及伺服反馈装置。伺服驱动器属于自动化控制系统中的驱动层，伺服电机属于执行层。伺服驱动器和伺服电机如今已经成为智能的必备品。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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四线测量四线电阻测量非常适合用于测量低阻值的电阻，因为DMM能够消除引线的影响，而无需诉诸相对功能。校正是完全自动的。在四线测量中，V+和V-端子仍通过测试导线将电流给电阻器。V+和V-两端的电压降由引线电阻和被测电阻的总和决定。感测线连接到电阻器的端子，并测量电阻器两端的电压，它不包括测试引线（或用于将DMM连接到UUT的关系统）两端的电压，并且电压表的输入阻抗足够高，不会导通任何电流或不会从Rlead产生误差电压。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室郑州-校准公司直流电压和交流电压的测量直流电压的测量，如电池、随身听电源等。首先将黑表笔插进“com”孔，红表笔插进“VΩ”。把旋钮选到比估计值大的量程（注意：表盘上的数值均为量程，“V－”表示直流电压档，“V～”表示交流电压档，“A”是电流档），接着把表笔接电源或电池两端；保持接触稳定。数值可以直接从显示屏上读取，若显示为“1.”，则表明量程太小，那么就要加大量程后再测量。如果在数值左边出现“-”，则表明表笔极性与实际电源极性相反，此时红表笔接的是负极。