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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

2ATPS82140功率模块的降额曲线如所示，降额曲线会随着输入与输出电压的变化而发生微小的变化，因此必须查看特定设计相对应的曲线。一般来说，随着输出电压的增大，降额情况会变得稍差一些，因为总输出功率和总功率损耗也会增大。这一点可通过效率得到平衡，因为效率会随着输出电压的增大而提高，同时有助于降低功率损耗。 ，降额曲线基于一个特定的印刷电路板(PCB)，而此电路板通常是功率模块的评估模块(EVM)。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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按DG1Z存储与调用界面中的菜单键文件类型选择“任意波文件”，然后将DG1Z的浏览器菜单设置为“目录”，使用DG1Z的旋钮将焦点光标至示波器的型号标识符DS114Z上，此时在“文件/文件夹显示区”会显示示波器所有通道及各通道的关状态。再将DG1Z中的浏览器菜单设置为“文件”，将光标到所需要读取的通道上，然后按读取键。此时，示波器会自动进入停止状态，DG1Z自动读取任意波数据（即示波器采集到的波形数据），并在读取完后将其保存至DG1Z当前通道的内部易失存储器中且自动切换至任意波（Ar模式。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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如在通道，同时进入画面的不止一人，也不止人体本身，有可能会携带诸如热饮之类的发热源，而红外热成像技术的基础原理是基于温度判断的，如何避免干扰热源实现清晰目标检测，对热成像设备的图像提出了挑战。近日，FOTRIC飞础科新上市了全自动红外体温筛查仪Fotric692及Fotric692Pro，强大到满足以上全部高要求：FOTRIC692搭建效果图 辨率，让一张热像画面中有11万个像素点，相当于同时用11个红外测温进行检测?人脸检测功能，真正到仅对人脸温度进行筛查，减少其他发热源干扰，降低误报?智能体温校准算法及超温报，算法自动学习升级，能够适应在不同环境温度中人脸的表面温度进行超温判断，如有体温异常，会触发蜂鸣报和颜色报?1分钟布控，从拆箱到调试运营仅需1分钟，机即可使用，省去工程施工等额外成本?SDK，免费放SDK发包，包含C++示例程序和说明文件。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校准湖北-认证中心现在人们把这种光栅称为计量光栅，以示区别于其他的光栅。 近一些年，光栅式传感器在精密测量领域中的应用得到了迅速的发展。光栅式传感器有如下特点：?精度髙。光栅式传感器在大量程测量长度或直线位移方面仅仅低于激光干涉传感器。在圆分度和角位移测量方面，一般认为光栅式传感器是精度 髙的一种。?大量程测量兼有髙分辨力。感应同步器和磁栅式传感器也具有大量程测量的特点，但分辨力和精度都不如光栅式传感器。?可实现动态测量，易于实现测量及数据的自动化。